低圧力・低真空標準の校正体系とトレーサビリティ

小島桃子; 小畠時彦

文献

J-GLOBAL ID：201702275823236760 整理番号：17A0211404

低圧力・低真空標準の校正体系とトレーサビリティ

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巻： 59 号： 12 ページ： 352-359(J-STAGE) 発行年： 2016年
JST資料番号： G0194A ISSN： 1882-2398 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

本稿では,現在の日本の真空計測分野における「標準」とそのトレーサビリティについて,国立研究開発法人産業技術総合研究所計量標準総合センターの圧力真空標準研究グループの活動を中心に概説する。圧力の特定標準器(計量法で定めるトレーサビリティ体系の源となる標準器)は「光波干渉式標準圧力計」と呼ばれる液柱形圧力計である。これは,参照用の重錘形圧力てんびんを校正するために使用し,通常の標準供給にはこの重錘形圧力てんびん群(特定副標準器のピストン式一次圧力標準器群)を用いている。2台の重錘形圧力てんびんを用いて差圧も発生できる。真空標準は圧力標準から拡張して作られる。低真空・中真空標準(数kPa~10^-4Pa)は膨張法,より低い圧力の高真空標準はオリフィス法が用いられる。2台の圧力天秤で校正した高精度デジタル差圧計を絶対圧力型の参照標準とする方法も用意している。無回転ピストンを用いる圧力てんびんも紹介する。トレーサビリティ・チェーンおよび国際比較の現状についても解説する。

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真空技術

引用文献 (29件)：

1) T. Kobata: Netsu Sokutei, 38 (2011) 58.
2) T. Kobata, M. Kojima and H. Kajikawa: Synthesiology, 4 (2011) 209.
3) NMIJ, http://www.nmij.jp/ (Last accessed: 2016-08-15)
4) A. Ooiwa: Journal of SICE, 48 (2009) 313.
5) A. Ooiwa, M. Ueki and R. Kaneda: Metrologia, 30 (1994) 565.

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