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J-GLOBAL ID：201702275916344164   整理番号：17A1056807

マグネトロンスパッタリングにより作製した二酸化チタンを同時ドープした高水分と弱酸性GaドープZnO膜【Powered by NICT】

Highly moisture and weak-acid resistant Ga-doped ZnO films with titanium dioxide co-doping fabricated by magnetron sputtering

著者 (8件)： Zhu Chaoting (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Li Jia (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Yang Ye (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Zhao Xunna (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Zou Wenwei (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Tan Ruiqin (Faculty of Information Science and Engineering, Ningbo University, Ningbo 315201, PR China) ,  Song Weijie (Ningbo Institute of Material Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, PR China) ,  Song Weijie (Ningbo Key Laboratory of Silicon and Organic Thin Film Optoelectronic Technologies, Ningbo 315201, PR China)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 634  ページ： 155-159  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,GZOターゲットへのTiO_2共ドーピングによるガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)薄膜の湿熱安定性と弱酸耐性を改善するための戦略を提案した。結果はターゲット中の0.2wt%TiO_2共ドーピング(GTZO)を持つGZO薄膜は5.1×10~ 4Ωcmの抵抗率と82.9%の平均透過率を示した。シート抵抗の相対的変化は,121°Cで相対湿度97%の条件で24時間高温高湿処理後5.1%であった。高ヘイズ値を有するクレータ型テクスチャ化表面は1vo1%HCl溶液に浸漬し10分後にGTZO薄膜では見られなかった。これらの結果は,GTZO薄膜は,極端な屋外条件における透明電極としての使用の大きな可能性を持つことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 熱安定性 ,  シート抵抗 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  耐酸性 ,  *ガリウム ,  透明電極 ,  薄膜 ,  電気抵抗率 ,  *酸化亜鉛 ,  *ドーピング ,  塩酸 ,  透過率
準シソーラス用語： ヘイズ ,  共ドーピング ,  *二酸化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ガリウムドープ酸化亜鉛 ,  二酸化チタンの同時ドーピング ,  耐湿性 ,  弱酸性抵抗 ,  マグネトロンスパッタリング ,  薄膜

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固-液界面  (CB12050B)

タイトルに関連する用語 (8件)： マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  二酸化チタン ,  ドープ ,  水分 ,  弱酸 ,  Ga ,  ZnO