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J-GLOBAL ID：201702276110187073   整理番号：17A1277089

旋回プラットフォームを用いたマイクロブロー火炎放射により作製したT字型質量を持つマイクロシェル共振器【Powered by NICT】

Micro shell resonator with T-shape masses fabricated by micro blow-torching using whirling platform

著者 (7件)： Li Wei (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, Hunan, China) ,  Hou Zhanqiang (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, Hunan, China) ,  Lu Kun (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, Hunan, China) ,  Shi Yan (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, Hunan, China) ,  Xiao Dingbang (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, Hunan, China) ,  Wu Yulie (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, Hunan, China) ,  Wu Xuezhong (College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, Hunan, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 1895-1898  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,T型質量を持つ溶融シリカ(FS)マイクロシェル共振器(MSR)の構造対称性と表面品質を改善するための新しいプロセスを提案し,実証した。旋回プラットフォームは,FS MSRを作製するためのマイクロブロー火炎放射を改善するために提示した。サブナノメータ滑らかな表面品質(0.404 nm Ra)と9μm以下(約0.1%相対耐性)の高い半径方向対称性が得られ,これは良好な構造的対称性と表面品質を述べた。実験結果は,6904.4Hzと6916.5Hzのワイングラスモード周波数で0.175%の良好な周波数対称性を明らかにした。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 表面性状 ,  *共振器 ,  半径方向 ,  石英ガラス ,  周波数 ,  対称性

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (10件)： 旋回 ,  プラットフォーム ,  ブロー ,  火炎 ,  放射 ,  作製 ,  T字型 ,  質量 ,  シェル ,  共振器