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J-GLOBAL ID:201702276388793161   整理番号:17A1380917

爆発放出陰極を持つ平面マグネトロンを集積化した高電流電子銃【Powered by NICT】

High-current electron gun with a planar magnetron integrated with an explosive-emission cathode
著者 (2件):
資料名:
巻: 143  ページ: 444-446  発行年: 2017年 
JST資料番号: E0347A  ISSN: 0042-207X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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平面パルスパワーマグネトロンと統合したプラズマアノードと爆発的放出陰極を有する新しい高電流(加速電圧10 35で25kAまでkV)電子銃を述べた。高さにおける直径1mmと15mmの百八十九の銅ワイヤはエミッタとして機能する。エミッタは,それらの間の5mm距離を有するステンレス鋼ディスク(基板)に設置されている。平面マグネトロンは陰極基板直後に配置した。マグネトロン放電プラズマはマグネトロン放電の開始後数ミリ秒以内に着火大電流反射(Penning)放電により形成されたプラズマアノードの周辺にイオン密度を増加させた。イオン密度プラズマ陽極の周辺には大電流電子ビームの均一性を改善した。新しい電子銃は通常の値に近い作動ガス(アルゴン)圧力~0.06Paで動作できることが分かった。試験の予備的結果は,提案した電子銃をその断面を介してビームエネルギー密度分布の改善された一様性を与えることがわかった。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (4件):
分類
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薄膜成長技術・装置  ,  固体-プラズマ相互作用  ,  気体放電  ,  酸化物薄膜 

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