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J-GLOBAL ID：201702276746399329   整理番号：17A0451512

V_0 5Mo_0 5N_x/MgO(001):組成,ナノ構造,および機械的性質膜成長温度の関数として【Powered by NICT】

V_0.5Mo_0.5N_x/MgO(001): Composition, nanostructure, and mechanical properties as a function of film growth temperature

著者 (13件)： Kindlund H. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Greczynski G. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Broitman E. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Martinez-de-Olcoz L. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Martinez-de-Olcoz L. (Grupo de Capas Finas e Ingenieria de Superficies, Facultad de Fisica, Universidad de Barcelona, Dep. Fisica Aplicada y Optica, 08028, Barcelona, Spain) ,  Lu J. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Jensen J. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Petrov I. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Petrov I. (Department of Materials Science, Fredrick Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois, 104 South Goodwin, Urbana, IL, 61801, USA) ,  Greene J.E. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Greene J.E. (Department of Materials Science, Fredrick Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois, 104 South Goodwin, Urbana, IL, 61801, USA) ,  Birch J. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden) ,  Hultman L. (Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linkoping University, SE-58183, Sweden)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 126  ページ： 194-201  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： B1-NaCl構造を持つV_0 5Mo_0 5N_x/MgO(001)合金は100と900°Cの間でT_s温度で5mTorr混合Ar/N_2雰囲気中で超高真空反応性マグネトロンスパッタ蒸着により成長した。T_s≦500°Cで成長させた合金膜は強い002優先配向した多結晶T_s≧700°Cで成長させた層はエピタキシャル単結晶である。N/Metal組成比xは1.02±0.05からT_s=100 500°Cで0.94±0.05~700°Cで0.64±0.05T_s=900°Cでより高い成長温度でN損失はx=0~0.64のx=0~0.94で4.212Åから緩和した格子パラメータa_Oの対応する減少をもたらす 1.02と4.175Åから4.120Åであった。V_0 5Mo_0 5N_xナノインデンテーション硬度Hおよび弾性係数Eは900°Cで100°Cで26±1と370±10GPaから17±3と323±30GPaからT_s増加と共に増大した。多結晶と単結晶の両方V_0 5Mo_0 5N_x膜は,親二元化合物VNのそれよりも高い靭性を示した。より高いT_sで堆積したV_0 5Mo_0 5N_x膜は強化された摩耗抵抗を示した。価電子帯X線光電子分光法分析は,VNと比較してV_0 5Mo_0 5N_xの剪断d-t-d-t_金属状態の増加した体積密度を明らかにし,これらの軌道の密度はN空孔濃度の増加に伴って堆積温度を増加させ,すなわち,と共に増加した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 塩化ナトリウム ,  価電子バンド ,  多結晶 ,  X線光電子分光法 ,  格子定数 ,  アルゴン ,  ナノインデンテーション ,  スパッタ蒸着 ,  耐摩耗性 ,  単結晶 ,  超高真空 ,  *ナノ構造 ,  硬度 ,  優先配向
準シソーラス用語： *成長温度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 靱性 ,  マグネトロンスパッタリング ,  モリブデン ,  バナジウム ,  遷移金属窒化物

分類 (3件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  組織的硬化現象  (WB01020C)

タイトルに関連する用語 (6件)： MgO ,  組成 ,  ナノ構造 ,  機械的性質 ,  膜成長 ,  温度の関数