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J-GLOBAL ID：201702276823013893   整理番号：17A1732172

電気インピーダンス特性によるCMUTの電気機械と寄生パラメータの正確な評価【Powered by NICT】

Accurate evaluation of the electro-mechanical and parasitic parameters of CMUTs through electrical impedance characterization

著者 (3件)： Savoia Alessandro Stuart (Department of Engineering Roma Tre University Roma, Italy) ,  Mauti Barbara (Department of Engineering Roma Tre University Roma, Italy) ,  Caliano Giosue (Department of Engineering Roma Tre University Roma, Italy)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気インピーダンス特性は静電容量型微細加工超音波変換器(CMUT)の電気機械的パラメータを評価する実用的な方法である。本論文では,改善された等価回路モデル,CMUT微細加工に使用される絶縁材料の電気的相互接続,浮遊容量と誘電損失の抵抗および誘導挙動を含む種々の寄生現象を説明するいくつかのバイアス電圧での電気インピーダンス測定値を当てはめることによって電気機械と寄生パラメータを評価することができる正確なCMUT特性化法を述べた。法は解析的に定式化され,数値的に実行し,空気結合及び水結合CMUTsでテストした。実験結果はCMUTアレイ要素と適合インピーダンスを達成した実験データの間に優れた一致を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  定式化 ,  相互接続 ,  *電気機械 ,  絶縁材料 ,  誘電損失 ,  漂遊容量 ,  微細加工 ,  *インピーダンス ,  絶縁体
準シソーラス用語： 電気インピーダンス測定 ,  バイアス電圧 ,  等価回路モデル ,  *CMUT ,  *インピーダンス特性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (6件)： インピーダンス特性 ,  CMUT ,  電気機械 ,  寄生 ,  パラメータ ,  評価