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J-GLOBAL ID：201702277056114404   整理番号：17A1084797

ニオブ酸リチウムにおける集積光学空間光変調器のための弾性表面波変換器の直接レーザ金属書き込み

Direct-laser metal writing of surface acoustic wave transducers for integrated-optic spatial light modulators in lithium niobate

著者 (6件)： DATTA Bianca C. (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  SAVIDIS Nickolaos (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  MOEBIUS Michael (Harvard Univ., MA, USA) ,  JOLLY Sundeep (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  MAZUR Eric (Harvard Univ., MA, USA) ,  BOVE V.Michael,Jr. (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10115  ページ： 101150W.1-101150W.19  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属変換器コンポーネントを作製するのに使用する二つの金属系(銀と金)に関するアプローチ及び得られた特性評価の比較を述べた。銀注入ゼラチンマトリクス及びレーザ誘起前方移動を含めた多重アプローチを考察し,比較した。最終的には,レーザ誘起前方移動を,この応用のための最適方法として選んだ。得られた試料を,伝導率,構造,及び熱特性に関して特性評価した。金と銀は,ニオブ酸リチウムの音響インピーダンス整合に対する最適金属ではなかったが,標的ゼラチンマトリクスアプローチを,銀及び金混合により試験した。

シソーラス用語： *レーザリソグラフィー ,  ホログラフィー ,  *集積光学 ,  *空間光変調素子 ,  *ニオブ酸リチウム ,  フェムト秒レーザ ,  マイクロマシニング ,  蒸着 ,  *音響変換器 ,  *弾性表面波素子 ,  *センサ ,  高分解能 ,  銀 ,  ナノ構造 ,  ゼラチン ,  マトリックス【母体】 ,  金属 ,  金 ,  融解 ,  転写 ,  テストパターン ,  形状測定 ,  電気伝導率 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： レーザ直接描画 ,  金属蒸着 ,  *弾性表面波変換器 ,  レーザ誘起前方転写

分類 (2件)： 光変調器  (BD06020W) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ニオブ酸リチウム ,  集積光学 ,  空間光変調器 ,  弾性表面波 ,  変換器 ,  レーザ ,  書き込み