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J-GLOBAL ID：201702277069835656   整理番号：17A0281486

フリンジ場とvan der Waals力効果の両方を含む渦巻状片持梁マイクロ/ナノ梁の非線形静的応答の閉形式解

Closed form solutions for nonlinear static response of curled cantilever micro-/nanobeams including both the fringing field and van der Waals force effect

著者 (4件)： SUN Youhong (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  YU Yongping (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  WU Baisheng (Jilin Univ., Changchun, CHN) ,  LIU Baochang (Jilin Univ., Changchun, CHN)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 1  ページ： 163-174  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ/ナノ電子機械システム(MEMS/NEMS)及び微細加工の応用が様々な分野に広がっている。本研究では,渦巻状片持梁マイクロ/ナノ梁の非線形静的応答を,フリンジ場とvan der Waals力効果を考慮して調べた。Galerkin法とビーム変形の形状関数の選択とを組合せて,解析的近似解を得た。渦巻状片持梁アクチュエータの安定性を決定する引込電圧も求めた。van der Waals力を無視したときの,引込パラメータを明示的に示した。これらの近似解はシューティング法により得た数値解,及び広範囲のビーム長に対する実験データと非常に良く一致した。

シソーラス用語： 静電場 ,  van der Waals力 ,  *片持梁 ,  MEMS ,  Galerkin法 ,  アクチュエータ ,  数値解法 ,  解析モデル ,  *応答 ,  解 ,  方程式
準シソーラス用語： NEMS ,  シューティング法 ,  *ナノ梁 ,  フリンジ場 ,  *非線形応答 ,  閉形式解

分類 (1件)： 力学  (BA04000D)

タイトルに関連する用語 (7件)： フリンジ場 ,  VAN ,  片持梁 ,  ナノ梁 ,  非線形 ,  応答 ,  閉形式解