酸化けい素膜に埋込まれた複合酸化タンタルとシリコンナノ結晶の構造および光ルミネセンス特性【Powered by NICT】

Diaz-Becerril T.; Herrera V.; Morales C.; Garcia-Salgado G.; Rosendo E.; Coyopol A.; Galeazzi R.; Romano R.; Nieto-Caballero F.G.; Sarmiento J.

文献

J-GLOBAL ID：201702277070771301 整理番号：17A1170876

酸化けい素膜に埋込まれた複合酸化タンタルとシリコンナノ結晶の構造および光ルミネセンス特性【Powered by NICT】

Structural and photoluminescent properties of a composite tantalum oxide and silicon nanocrystals embedded in a silicon oxide film

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巻： 184 ページ： 262-267 発行年： 2017年
JST資料番号： D0731A ISSN： 0022-2313 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

酸化けい素マトリクス中に富むタンタル酸化物結晶を,熱フィラメント化学蒸着システム(HFCVD)を用いて合成した。Ta_2O_5とシリコン(Si)粉末の異なる割合の混合物で構成された固体源を反応物として使用した。膜は水素雰囲気下で800°Cと1000°Cで成長させた。堆積した膜は室温でのX線光電子分光法(XPS),高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)及び光ルミネセンス(PL)によって特性化した。XPSの結果から,それぞれSi~+とTa~+状態に対応するSi(2p)およびTa(4f)線からみた酸化タンタル,酸化ケイ素とSiナノ粒子の混合物(Ta_2O_5 SiO_2~-Si(nc))の形成を確認した。酸化けい素膜中に埋め込まれたTa_2O_5とSiナノ結晶(Si NCs)をHRTEM画像XPS結果を裏付けるに観察された。最後に膜の発光特性は,膜を構成する酸化タンタルとSi-NCの独立したPL特性に起因する400~850nmの広いバンドを示した。発光の強度は堆積及び比Ta_2O_5/Siの両温度,初期反応物として使用に依存していることが観察された。本研究からの結果は,将来の光エミッタデバイスの開発のための有用なデータを供給する可能性がある。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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無機化合物のルミネセンス

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