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J-GLOBAL ID：201702277142844453   整理番号：17A1253317

LTV運動システムのクラスに対するコンプライアンスフィードフォワード方式【Powered by NICT】

A compliance feedforward scheme for a class of LTV motion systems

著者 (4件)： Kontaras Nikolaos (Department of Mechanical Engineering, Control Systems Technology group, Eindhoven University of Technology, 5612 AZ, The Netherlands) ,  Heertjes Marcel (Department of Mechanical Engineering, Control Systems Technology group, Eindhoven University of Technology, 5612 AZ, The Netherlands) ,  Zwart Hans (Department of Mechanical Engineering, Dynamics and Control group, Eindhoven University of Technology, 5612 AZ, The Netherlands) ,  Steinbuch Maarten (Department of Mechanical Engineering, Control Systems Technology group, Eindhoven University of Technology, 5612 AZ, The Netherlands)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ACC  ページ： 4504-4509  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： リソグラフィー応用における軽量高性能運動システムの実施は,アクチュエータ,増幅器,および冷却時により低い要求を特に課している。しかし,関心のあるいわゆる点は固定位置ではない,特に軽量設計の減少した剛性が前面に構造柔軟性の効果をもたらした。これは例えばシリコンウエハを曝露した場合の症例である。構造柔軟性に対処するために,二つの概念:(a)連続コンプライアンス補償制御と(b)スナップフィードフォワード制御を組み合わせた提案したフィードフォワード制御器。LTV運動システムのサブクラスに拡大,得られた制御器は柔軟構造物の位置依存性および時変コンプライアンスを補償する。コンプライアンス関数は偏微分方程式(PDE)を用いて導出した。法をシミュレーション結果により検証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 制御装置 ,  増幅器 ,  シミュレーション ,  リソグラフィー ,  構造物 ,  *コンプライアンス ,  剛性 ,  フィードフォワード制御 ,  アクチュエータ ,  偏微分方程式 ,  柔軟性
準シソーラス用語： 位置依存性 ,  シリコンウエハ ,  軽量 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (2件)： 運動システム ,  クラス