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J-GLOBAL ID：201702277275707743   整理番号：17A0527120

VとZ形電熱マイクロアクチュエータの閉形モデル化と設計解析

Closed-form modelling and design analysis of V- and Z-shaped electrothermal microactuators

著者 (7件)： ZHANG Zhuo (Beijing Univ. Technol., Beijing, CHN) ,  ZHANG Zhuo (Aarhus Univ., Aarhus, DNK) ,  ZHANG Weize (McGill Univ., Montreal, CAN) ,  WU Qiyang (McGill Univ., Montreal, CAN) ,  YU Yueqing (Beijing Univ. Technol., Beijing, CHN) ,  LIU Xinyu (McGill Univ., Montreal, CAN) ,  ZHANG Xuping (Aarhus Univ., Aarhus, DNK)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27  号： 1  ページ： 015023,1-12  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 平面内動きをするV形,Z型の電熱アクチュエータについて検討した。真空,空気中で動作する電熱マイクロアクチュエータのシステムモデルを提示した。モデルは,変位,力を推定するだけでなく,パラメータを解析することができる。VとZ形アクチュエータの性能比較を比較ベンチマークで行った。モデルの検証を有限要素法と実験で行った。シャトルの長さは60×10^-6m,ビームの長さは176×10^-6mである。線形スプリングとして電熱アクチュエータを物理的にモデリングすることによって,変位[0~250μm)と力(-10~15μN)の関係を明らかにすることができた。

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  *電気加熱 ,  モデリング ,  *変位 ,  有限要素法 ,  設計 ,  解析
準シソーラス用語： *電熱 ,  力解析

分類 (1件)： 電熱  (NB11020Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電熱 ,  マイクロアクチュエータ ,  モデル化 ,  設計 ,  解析