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J-GLOBAL ID：201702277279591398   整理番号：17A1047018

物理特性及びガスセンシング応用に及ぼす厚みの影響:自動噴霧熱分解(ANSP)によるアナターゼ二酸化チタンナノ膜

Effect of thickness on the physical properties and gas sensing application: anatase titanium dioxide nanofilms by automated nebulizer spray pyrolysis (ANSP)

著者 (4件)： KRISHNAN V. Gopala (Government Arts Coll., Coimbatore, IND) ,  KRISHNAN V. Gopala (Sree Sakthi Engineering Coll., Coimbatore, IND) ,  PURUSHOTHAMAN A. (Sree Sakthi Engineering Coll., Coimbatore, IND) ,  ELANGO P. (Government Arts Coll., Coimbatore, IND)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 28  号： 15  ページ： 11473-11481  発行年： 2017年08月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,自動噴霧熱分解(ANSP)法を用いて500°Cでガラス基板上に堆積したTiO₂ナノ膜の厚みが及ぼす影響を調べた。今回の試料の構造,組成,トポロジー,表面モフォロジー,光学及びガスセンシング性能は次の通りである。(1)種々の厚みのTiO₂を光学プロフィルメータを用いて調べ,得られた厚みは,186,234,311,397,433nmである。(2)全ての試料は,強い選択面方位(101)を持つ正方晶構造の多結晶アナターゼ相を示し,観察される結晶サイズは,厚みの増加と共に減少した。(3)原子間力顕微鏡(AFM)から,平均粗さ値は厚みの増加と共に増加し,電界放出型走査電子顕微鏡(FESEM)研究から,小さい粒子サイズの微細球構造のモフォロジー挙動が明らかになった。(4)光学透過率値は,吸収端の青方偏移に伴って減少し,バンド値は,欠陥フリー品質膜の改善によって厚みの増加と共に減少した。このことを光学測定によって決定した。(5)最後に,TiO₂ナノ膜のガスセンシング性能,即ち,動作温度,被覆厚み及び種々のガス濃度に関する感度応答(%)を示す。他のガスと比較して,還元ガスC₂H₆Oは,300°Cで150ppmのガス濃度において最も大きい感度応答(S=13%)を示す。

シソーラス用語： *物理的性質 ,  *ガスセンサ ,  *酸化チタン ,  アナターゼ ,  厚み ,  噴霧法 ,  熱分解 ,  ナノ構造 ,  超薄膜 ,  X線回折 ,  原子間力顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  光透過 ,  波長依存性 ,  バンドギャップ ,  感度 ,  温度依存性 ,  濃度依存性 ,  モルフォロジー ,  表面構造 ,  正方晶系 ,  アナターゼ型結晶 ,  ナノシート
準シソーラス用語： ナノ膜 ,  表面モルフォロジー ,  噴霧熱分解

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (8件)： 物理特性 ,  センシング ,  応用 ,  厚み ,  噴霧熱分解 ,  アナターゼ ,  酸化チタン ,  ナノ膜