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J-GLOBAL ID：201702277495679000   整理番号：17A0907248

Cu_XO膜のモノフラクタル解析:集合組織と相分布【Powered by NICT】

Mono-fractal analysis of Cu_XO films: Texture and phase distribution

著者 (3件)： Avila-Garcia A. (Electrical Engineering Department, Section of Solid State Electronics, CINVESTAV, National Polytechnic Institute, Mexico City 07360, Mexico) ,  Arizabalo-Salas R.D. (Mexican Petroleum Institute, Mexico City 07730, Mexico) ,  Andraca-Adame J.A. (Center of Nanoscience and Micro-Nanotechnology, National Polytechnic Institute, Mexico City 07738, Mexico)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 141  ページ： 249-253  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 成長温度の関数としてそれらの結晶特性と主相を扱う熱的に成長した酸化銅膜に関するいくつかの研究が発表されている;にもかかわらず,モノフラクタル分析を用いて膜の表面形態の記述を提案したいくつかの研究。本研究では,酸化銅膜を異なる温度と時間で大気中で直接熱酸化により成長させたXRD,FTIRおよびRamanにより膜中に存在する相の実験的証拠を得た。酸化銅膜の構造特性を原子間力顕微鏡(A FM)画像から解析した。ボックス計数と情報フラクタル次元を用いてテクスチャ特性間の相関とCu_xO膜の相を確立するためにモノフラクタル解析を行った。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 画像 ,  結晶 ,  X線回折 ,  *集合組織 ,  酸化銅 ,  構造特性 ,  原子間力顕微鏡 ,  フラクタル次元 ,  熱酸化
準シソーラス用語： テクスチャ ,  計数 ,  表面形態 ,  *フラクタル解析 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： フラクタル解析 ,  原子間力顕微鏡観察 ,  銅酸化物膜 ,  主相

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： フラクタル解析 ,  集合組織 ,  分布