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J-GLOBAL ID：201702277625646860   整理番号：17A1056559

CrドープZnOガスセンサのアルコール蒸気感受性の増強【Powered by NICT】

Enhancement in alcohol vapor sensitivity of Cr doped ZnO gas sensor

著者 (5件)： Hassan M. Mehedi (Sensor and Actuator Division, CSIR-Central Glass and Ceramic Research Institute, Kolkata, W.B., 700032, India) ,  Khan Wasi (Department of Physics, Aligarh Muslim University, Aligarh, 202002, India) ,  Mishra P. (Nano-Sensor Research Laboratory, F/O Engineering and Technology, Jamia Millia Islamia, New Delhi, 110025, India) ,  Islam S.S. (Nano-Sensor Research Laboratory, F/O Engineering and Technology, Jamia Millia Islamia, New Delhi, 110025, India) ,  Naqvi A.H. (Interdisciplinary Nanotechnology Centre, Aligarh Muslim University, Aligarh, 202002, India)
資料名： Materials Research Bulletin  (Materials Research Bulletin)
巻： 93  ページ： 391-400  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0954A  ISSN： 0025-5408  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,CrドーピングはZnO薄膜ベースのガスセンサのエタノール感受性を増強することを示した。Cr(0および5wt%)置換ZnO薄膜をRFマグネトロンスパッタリング法によるプレドープターゲットを用いたAl_2O_3基板上に成長させた。XRDとRamanは膜の単相ウルツ鉱型構造を確認し解析し,平均結晶子サイズはCr置換に減少させた。SEM画像は,CrをドープしたZnOの粒子は非ドープ薄膜よりもより均一で小さな示した。EDSとXPSスペクトルは,Cr~3+イオンのドーピングの成功とZnO膜の表面上の酸素空格子点の形成を明らかにした。ドーピング効果はZnOセンサーの感度を増強するほぼ二時間と応答時間/回復時間の改善も観察された。これは表面でのエタノールガス分子のより数の吸着をリードする表面対体積比の増加によるものであろう。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線回折 ,  *ガスセンサ ,  *クロム ,  スパッタリング ,  薄膜 ,  *ドーピング ,  *感受性 ,  スペクトル ,  *酸化亜鉛 ,  応答時間 ,  結晶粒径 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： ドーピング効果 ,  ウルツ鉱型構造 ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ZnO薄膜 ,  スパッタリング ,  XRD ,  Raman分光法 ,  XPS ,  アルコールセンシング

分類 (2件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (8件)： Cr ,  ドープ ,  ZnO ,  ガスセンサ ,  アルコール ,  蒸気 ,  感受性 ,  増強