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J-GLOBAL ID：201702277915968731   整理番号：17A1267773

ナノ機械的Si光学フィルタに及ぼす包装効果のダイアタッチのFEM研究【Powered by NICT】

An FEM study of die attach packaging effect on nanomechanical Si optical filters

著者 (2件)： Seok Seonho (Center for Nanoscience and Nanotechnology (C2N), University-Paris-Saclay, Orsay, France) ,  Hah Dooyoung (Department of Electrical and Electronics Engineering, Abdullah Gul University (AGU), Kayseri, Turkey)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： DTIP  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,新たなナノメカニカルシリコン光学フィルタに及ぼす包装応力効果を金型の有限要素解析法を提示した。提案したシリコン光学フィルタは厚さ百nmで長さがμmの数十を持つSi導波路とマイクロリング共振器から構成されている。フォトニック集積回路は典型的には他の成分と一般的なセラミックインターポーザに新しい成分を付加することによって実現した。このような付着過程は望ましくない性能偏差パッケージング応力によるMEMSやNEMSデバイスの原因であろう。,FEMモデルを提案した光学フィルタのための主要な要素であるNEMS導波路とマイクロリング共振器のたわみと応力を評価するために用いた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： MEMS ,  *光学フィルタ ,  光集積回路 ,  *ケイ素 ,  付着 ,  *ダイボンディング ,  たわみ ,  導波路
準シソーラス用語： FEMモデル ,  NEMS ,  マイクロリング共振器 ,  有限要素解析 ,  応力効果 ,  *ナノマシン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 光通信方式・機器  (ND10000B)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノ機械 ,  Si ,  光学フィルタ ,  包装 ,  ダイアタッチ ,  FEM ,  研究