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J-GLOBAL ID：201702278264179996   整理番号：17A0237519

走査型トンネル顕微鏡と組合わせた運動エネルギー制御超音速ビームを用いたSi(111)-(7×7)の時間および空間分解酸化

Temporally and Spatially Resolved Oxidation of Si(111)-(7 × 7) Using Kinetic Energy Controlled Supersonic Beams in Combination with Scanning Tunneling Microscopy

著者 (4件)： WIGGINS Bryan (Univ. Chicago, Illinois, USA) ,  AVILA-BRONT L. Gaby (Univ. Chicago, Illinois, USA) ,  EDEL Ross (Univ. Chicago, Illinois, USA) ,  SIBENER S. J. (Univ. Chicago, Illinois, USA)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 120  号： 15  ページ： 8191-8197  発行年： 2016年04月21日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si(111)-(7×7)表面上の分子状酸素反応性のサイト特異的位置を,in situ走査型トンネル顕微鏡と組合わせた運動エネルギー選択超音速分子ビームを用いて研究した。並進エネルギーEi=0.37eVを持つ分子状酸素に暴露したときの実時間および実空間での反応に対して,表面を詳細に可視化した。原子的に分解された画像は,酸化のための二つのチャネルを示し,暗いおよび明るい反応サイトの形成した。暗部サイトは曝露された範囲全体にわたって反応を支配し,再構成された(7×7)単位セルの隅部あるいは内部吸着原子サイトに対して優先性を示さなかった。明部サイトは,再構成(7×7)単位セル上の隅部対内部サイト反応性に対して小さな優先性を示した。これらの観察は,分子状酸素を用いるとき,熱的な分子状酸素と比較して,トラップ媒介化学吸着および直接化学吸着の二つの吸着経路が同時に生じることを示唆している。

シソーラス用語： *走査型トンネル顕微鏡 ,  並進エネルギー ,  *超音速分子ビーム ,  *ケイ素 ,  時間分解能 ,  空間分解能 ,  *酸化 ,  性質 ,  *酸素 ,  二原子分子 ,  可視化 ,  高分解能 ,  *反応経路 ,  *結合部位 ,  化学吸着 ,  部位特異性

分類 (3件)： 固-気界面一般  (CB12041H) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  原子ビーム,分子ビーム  (BH01020Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 走査型トンネル顕微鏡 ,  運動エネルギー ,  Si ,  分解 ,  酸化