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J-GLOBAL ID：201702278566755667   整理番号：17A0404099

透明導電性SiドープZnO/holeパターン形成したAg/SiをドープしたZnO多層膜の電気的および光学的特性【Powered by NICT】

Electrical and optical characteristics of transparent conducting Si-doped ZnO/hole-patterned Ag/Si-doped ZnO multilayer films

著者 (9件)： Kim Jun Ho (Department of Materials Science and Engineering, Korea University, Seoul 02841, Republic of Korea) ,  Im Hyeong-Seop (Department of Materials Science and Engineering, Korea University, Seoul 02841, Republic of Korea) ,  Im Hyeong-Seop (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, 02792 Seoul, Republic of Korea) ,  Hwang Dae-Woong (Department of Applied Physics, Kyung Hee University, Gyeonggi-do 17104, Republic of Korea) ,  Kim Sun-Kyung (Department of Applied Physics, Kyung Hee University, Gyeonggi-do 17104, Republic of Korea) ,  Bae Dukkyu (Hexa Solution Co., Ltd., Gyeonggi-do 16229, Republic of Korea) ,  Yoo Young-Zo (Duksan Hi-Metal Co. Ltd., Yeonam-dong, Buk-gu, Ulsan 44252, Republic of Korea) ,  Lee Kyeong-Seok (Center for Electronic Materials, Korea Institute of Science and Technology, 02792 Seoul, Republic of Korea) ,  Seong Tae-Yeon (Department of Materials Science and Engineering, Korea University, Seoul 02841, Republic of Korea)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 4  ページ： 3693-3697  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 円形パターンAg層は最初のSiドープZnO(SZO)/細孔をパターン化したAg/SZO多層膜を形成するために使用し,それらの光学的および電気的特性を評価した。従来の酸化物/金属/酸化物多層膜とは異なり,全ての試料は二つの特徴を示した(i)二重最大値と透過率の正弦波波長依存性,および(ii)可視透過率の起伏,赤外透過率では増加しなかった。SZO厚さを増加すると,透過率のピークが存在し赤方偏移,可視透過率窓が広がった。キャリア濃度は7.42×10~22から2.4×10~22cm~ 3に減少し,シート抵抗はSZO厚さの増加に伴い,7~10Ω/sqであった。Haackeの性能指数(FOM)はあるSZO基多層膜について計算した。40nm-厚SZO多層膜は15.9×10~ 3Ω~ 1の最高FOMを有していた。有限差分時間領域(FDTD)シミュレーションは測定された透過率を解釈した。FDTDシミュレーションに基づいて,波状透過率は表面プラズモン-ポラリトンに起因した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 有限差分時間領域法 ,  透過率 ,  *酸化亜鉛 ,  キャリア密度 ,  *パターン形成 ,  正弦波 ,  *多層膜 ,  表面プラズモン ,  *導電性 ,  波長依存性 ,  ポラリトン ,  性能指数 ,  *ドーピング ,  赤方偏移 ,  *銀

著者キーワード (4件)： SiドープZnO ,  円形パターンAg層 ,  透明導電性電極 ,  有限差分時間領域シミュレーション

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (8件)： 導電性 ,  Si ,  ドープ ,  ZnO ,  パターン形成 ,  Ag ,  多層膜 ,  光学的特性