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J-GLOBAL ID：201702278747206523   整理番号：17A1483017

高周波マグネトロンスパッタリングによるp型Sb_2Te_3とn型Bi_2Te_3薄膜を用いた多層スタック熱電発電機【Powered by NICT】

Multi-layered-stack thermoelectric generators using p-type Sb₂Te₃ and n-type Bi₂Te₃ thin films by radio-frequency magnetron sputtering

著者 (2件)： Takayama Ken (Department of Materials Science, Tokai University, 4-1-1 Kitakaname, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, Japan) ,  Takashiri Masayuki (Department of Materials Science, Tokai University, 4-1-1 Kitakaname, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, Japan)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 144  ページ： 164-171  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低電力で動作する電子センサに電力を提供するために,ラジオ周波数(RF)マグネトロンスパッタリングを用いて多層スタック熱電発電機を作製した。熱電発電機の調製前に,それらの熱電特性を研究し,改善するためにSb_2Te_3とBi_2Te_3薄膜をガラス基板,続いて200から400°Cの範囲の温度での熱アニーリングを行うことにより上に堆積した。両膜は300°Cのアニーリング温度で室温で測定した最大力率値,すなわち,Sb_2Te_3と10.2μW/(cm K~2)12.7μW/(cm K~2)Bi_2Te_3を示した。,300°Cでアニールした膜は多層スタック熱電発電機を作製するに適している。熱電発電機を調製するために,Sb_2Te_3とBi_2Te_3薄膜を0.3mm厚ガラス基板の上面と底面に堆積した。十一試料片を多層スタック熱電発電機を得るために銀ペーストを噴霧して直列に接続した。20×30mm~2の寸法,厚さ7mmの発電機を作製した。熱電発電機は,32mVの開回路電圧と温度差(両端に)28Kで0.15μWの最大出力電力を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *多層 ,  力率 ,  電力 ,  周波数 ,  噴霧 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *薄膜
準シソーラス用語： 温度差 ,  開回路電圧 ,  アニーリング温度 ,  熱アニーリング ,  ガラス基板 ,  熱電特性 ,  *熱電発電機 ,  *RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 多層スタック熱電発電機 ,  Sb_2Te_3 ,  Bi_2Te_3 ,  熱アニーリング

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  薄膜 ,  多層 ,  スタック ,  熱電発電機