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J-GLOBAL ID：201702278828634569   整理番号：17A1731566

単一チップ上の8チャネルCMUT化学センサアレイ【Powered by NICT】

An 8-channel CMUT chemical sensor array on a single chip

著者 (3件)： Stedman Quintin (Stanford University, Stanford, CA, USA) ,  Park Kwan Kyu (Hanyang University, Korea, Republic of) ,  Khuri-Yakub Butrus T. (Stanford University, Stanford, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CMUTは非常に高感度空気中重量化学センサにする。選択性は異なる官能化コーティングしたこれらのセンサのアレイを用いて改良できる。しかし,同一チップ上で動作する多重センサはセンサ周波数同期および官能化の大きな困難のために挑戦的である。以前の研究では,二または三個のセンサを同一チップ上に一度に使用されてきた。ここでは,単一チップ上に8CMUT化学センサの同時動作を示す結果を提示し,空気中の化学物質を認識するためのセンサアレイの能力を実証した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 被覆 ,  *センサアレイ ,  *チャネル ,  官能化 ,  化学物質 ,  *センサ ,  高感度 ,  周波数同期 ,  *化学センサ
準シソーラス用語： マルチセンサ ,  *CMUT , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分析機器  (CC02020S) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： チャネル ,  CMUT ,  化学センサ ,  アレイ