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J-GLOBAL ID：201702278920882394   整理番号：17A1280570

単列差動構造の新しいナノ時間格子変位センサ【JST・京大機械翻訳】

Novel nanometer time-grating displacement sensor with single row differential structure

著者 (5件)： Peng Kai (重慶大学 机械伝動国家重点実験室 重慶 400044) ,  Yu Zhicheng (合肥工業大学儀器科学与光電工程学院 合肥 230009) ,  Liu Xiaokang (重慶理工大学 机械検測技術与装備教育部工程研究中心 重慶 400054) ,  Zheng Fangyan (重慶理工大学 机械検測技術与装備教育部工程研究中心 重慶 400054) ,  Pu Hongji (西安交通大学 机械制造系統工程国家重点実験室 西安 710049)
資料名： Yiqi Yibiao Xuebao  (Yiqi Yibiao Xuebao)
巻： 38  号： 3  ページ： 734-740  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2448A  ISSN： 0254-3087  CODEN： YYXUDY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 二重構造ナノ時間格子変位センサの研究に基づいて,新しいタイプのナノ時間格子変位センサを提案した。一つの均一速度運動の交流電場を直接に構築することにより、進行波信号を発生させ、ダブル配列構造によるクロストーク問題と実装問題を解決した。差動誘導極を用いて信号をピックアップし,コモンモード干渉を効果的に除去することができた。単一ナノ構造を持つ多層薄膜のナノ構造を,マイクロマシニングプロセスにより製作し,200mmの範囲で,±150nmの測定精度を得た。二重構造を有するナノ時間格子センサと比較して,この新しいナノ格子センサは,測定精度,信号安定性,および反干渉能力を著しく改善し,また,サイズの減少とともに,効果的な範囲を拡大するため,製品化の過程において,より有望な応用展望を持つ。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 商品化 ,  干渉 ,  測定精度 ,  進行波 ,  *センサ ,  ナノ構造 ,  二重構造 ,  クロストーク ,  多層膜 ,  交流電場
準シソーラス用語： ナノ格子 ,  コモンモード ,  *変位センサ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： nanometer time-grating ,  capacitive displacement sensor ,  single row structure ,  differential induction electrode

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 差動 ,  格子 ,  変位センサ