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J-GLOBAL ID：201702278965597556   整理番号：17A1149367

低消費電力集積化CO₂センサに向けたLa₂O₃/SnO₂センサ感度向上の検討とそのMEMSホットプレート上への作製と評価

Improvement in the CO₂ sensitivity of La₂O₃/SnO₂-based sensors and their characteristics fabricated on micromachined hotplates

著者 (4件)： 岩田達哉 (豊橋技科大) ,  松田恭輔 (豊橋技科大) ,  高橋一浩 (豊橋技科大) ,  澤田和明 (豊橋技科大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117  号： 172(ED2017 27-35)  ページ： 29-32  発行年： 2017年08月02日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMS CO₂センサにおけるセンサデバイス設計の指針を得るべく,La₂O₃/SnO₂積層CO₂センサ素子において,SnO₂膜厚および電極構造がセンサ感度に及ぼす影響を評価した。SnO₂の膜厚を107nmから16nmへ小さくすることで,1000ppm CO₂に対する感度が1.20から1.39へ向上し,膜厚が小さくなるほど感度が向上する傾向が得られた。一方,電極間隔を500μmから20μmへ小さくすると,1.20から1.78へ感度が増加した(1000ppm CO₂に対して)。以上の結果より,CO₂センシングにおける,電極界面近傍の抵抗の寄与が示唆された。さらにMEMSホットプレート上へCO₂センサを作製し,少なくとも200-4000ppmの範囲のCO₂を検出可能であり,200ppmの分別ができることを実証した。(著者抄録)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *二酸化炭素 ,  *MEMS ,  *加熱器 ,  消費電力 ,  *酸化ランタン ,  *酸化スズ ,  *積層構造 ,  *膜厚 ,  構造 ,  電極 ,  感度 ,  ガス漏れ ,  *集積
準シソーラス用語： 半導体ガスセンサ ,  ホットプレート ,  低電力 ,  電極構造

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (10件)：

• K. Sahner, A. Schulz, J. Kita, R. Merkle, J. Maier, and R. Moos, ′′CO₂ Selective Potentiometric Sensor in Thick-film Technology,′′ Sensors, vol.8, no. 8, pp.4774-4785, Aug. 2008.
• S. Srinives, T. Sarkar, R. Hernandez, and A. Mulchandani, ′′A miniature chemiresistor sensor for carbon dioxide,′′ Anal. Chim. Acta, vol.874, pp.54-58, May 2015.
• N. Mizuno, T. Yoshioka, K. Kato, and M. Iwamoto, ′′CO₂-sensing characteristics of SnO₂ element modified by La₂O₃,′′ Sens. Actuators B, vol.13, no. 1-3, pp.473-475, May 1993.
• I. Simon, N. B?rsan, M. Bauer, and U. Weimar, ′′Micromachined metal oxide gas sensors: opportunities to improve sensor performance,′′ Sens. Actuators B, vol.73, no. 1, pp.1-26, Feb. 2001.
• A. Marsal, G. Dezanneau, A. Cornet, and J. R. Morante, ′′A new CO₂ gas sensing material,′′ Sens. Actuators B, vol.95, no. 1-3, pp.266-270, Oct. 2003.

タイトルに関連する用語 (8件)： 低消費電力 ,  集積化 ,  La2O3 ,  感度向上 ,  MEMS ,  ホットプレート ,  作製 ,  評価