文献

J-GLOBAL ID：201702279044871876   整理番号：17A1374887

浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

著者 (3件)： 田丸雄摩 (九州工大) ,  松本哲也 (九州工大) ,  清水浩貴 (九州工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.K16  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある。本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ,浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した。加振振幅を与えることで浮上力が得られ,振幅調整によって微動が生じる。試験の結果,テーブルが非接触で支持されていることを確認した。また,振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し,全ストローク変位と最小変位を観察できた。(著者抄録)

シソーラス用語： 力 ,  力制御 ,  作用 ,  支持物 ,  *微動 ,  *テーブル【機械要素】 ,  平衡 ,  励振 ,  長さ ,  変位
準シソーラス用語： スクイーズ作用 ,  支持 ,  自重 ,  浮上力 ,  加振 ,  ストローク【長さ】

分類 (1件)： その他の機械要素  (QB01120F)

引用文献 (1件)：

• 田丸雄摩ほか精密秋季講論, (2015), pp.899-900

タイトルに関連する用語 (5件)： 浮上力 ,  スクイーズ ,  支持 ,  微動 ,  開発