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J-GLOBAL ID：201702279400551877   整理番号：17A0381638

ヒドロゲル微粒子のばね定数を測定するためのMEMS力と変位センサ【Powered by NICT】

MEMS force and displacement sensor for measuring spring constant of hydrogel microparticles

著者 (8件)： Kohyama S. (The University of Tokyo, Japan) ,  Takahashi H. (The University of Tokyo, Japan) ,  Yoshida S. (Keio University, Japan) ,  Onoe H. (Keio University, Japan) ,  Shoji K. H. (The University of Tokyo, Japan) ,  Tsukagoshi T. (The University of Tokyo, Japan) ,  Takahata T. (The University of Tokyo, Japan) ,  Shimoyama I. (The University of Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1040-1043  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,MEMSセンサによるばね定数ヒドロゲル微粒子を測定する方法について報告した。ばね定数を計算するために,力と変位が必要である。両パラメータを同時に測定できるようにMEMSセンサはμΝとμmの範囲で二側壁をドープした圧電抵抗カンチレバーから構成されている。一カンチレバーはターゲットを壁にと,カンチレバーはターゲットの復元力を測定することができる。同時に,他の片持梁は壁を押し直接変位を測定した。同一センサチップの両方に力と変位を測定することにより,ターゲットのばね定数はセンサ出力,センサシステムは,単純・小型化に有効であるからのみ得ることができた。この利点を利用して,著者らの方法は,顕微鏡と他のシステムと実際の実験に有用である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *MEMS ,  顕微鏡 ,  片持梁 ,  *ヒドロゲル ,  *センサ ,  *微粒子 ,  復元力 ,  *ばね定数 ,  小型化 ,  ドーピング
準シソーラス用語： センサシステム ,  センサチップ ,  圧電抵抗 ,  MEMSセンサ ,  *変位センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： ヒドロゲル微粒子 ,  ばね定数 ,  MEMS ,  変位センサ