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J-GLOBAL ID：201702279694993907   整理番号：17A1374935

透明セラミックスの固相拡散接合技術を用いた薄膜シンチレーターの開発及びこれを用いたX線イメージング

著者 (10件)： 亀島敬 (高輝度光科学研究セ) ,  亀島敬 (理研) ,  竹内晃久 (高輝度光科学研究セ) ,  上杉健太朗 (高輝度光科学研究セ) ,  工藤統吾 (高輝度光科学研究セ) ,  工藤統吾 (理研) ,  矢橋牧名 (高輝度光科学研究セ) ,  矢橋牧名 (理研) ,  初井宇記 (高輝度光科学研究セ) ,  初井宇記 (理研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M06  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線イメージング検出器の空間分解能は,放射光分野において測定限界・データ品質・装置の規模を決める重要なパラメーターである。本研究では,空間分解能向上のため,高い光学特性を持つ薄膜シンチレーターを開発した。界面で生じる光の拡散を抑えるために,透明セラミックスであるシンチレーターと基板を固相拡散接合で直接接合し,シンチレーター層を5μmに薄化した。これを用い,400nmの空間分解能を達成した。(著者抄録)

シソーラス用語： *X線画像 ,  *X線検出器 ,  *シンチレータ ,  *固相 ,  *拡散接合 ,  *空間分解能 ,  *結像 ,  光学系 ,  X線検出 ,  イメージセンサ ,  限界 ,  量子効率 ,  アルミニウム化合物 ,  ルテチウム化合物 ,  イットリウムアルミニウムガーネット ,  被写界深度 ,  回折限界 ,  LuAG結晶 ,  *相
準シソーラス用語： YAG【ガーネット】

分類 (2件)： X線技術  (BA02060D) ,  放射線検出・検出器  (AD08020J)

引用文献 (11件)：

• A. Koch, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment 348, 654 (1994).
• K. Uesugi, Y. Suzuki, N. Yagi, A. Tsuchiyama, and T. Nakano, 2002), pp. 291.
• S. M. Gruner, M. W. Tate, and E. F. Eikenberry, Rev. Sci. Instrum. 73, 2815 (2002).
• J. Tou?, M. Horv?th, L. P?na, K. Bla?ek, and B. Sopko, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment 591, 264 (2008).
• J. Tous, K. Blazek, M. Nikl, and J. A. Mares, Journal of Physics: Conference Series 425, 192017 (2013).

タイトルに関連する用語 (6件)： セラミックス ,  固相拡散 ,  薄膜 ,  シンチレーター ,  開発 ,  X線イメージング