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J-GLOBAL ID:201702279930757812   整理番号:17A1224222

パワーデバイス用半導体結晶~Si,SiC,GaN,ダイヤモンド,Ga2O3~-7 パワーデバイス用Ga2O3結晶

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資料名:
巻: 137  号: 10  ページ: 693-696  発行年: 2017年10月01日 
JST資料番号: F0011A  ISSN: 1340-5551  CODEN: DGZAAW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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コランダム構造(α構造)の酸化ガリウム(Ga2O3)を使用したショットキー障壁ダイオードの特性オン抵抗値は,Si,SiC及びGaNのものを凌駕している。本稿では,コランダム構造(α構造)Ga2O3の背景やデータを中心に,Ga2O3材料への期待や特長,デバイス特性について紹介した。
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 

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