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J-GLOBAL ID：201702279937251551   整理番号：17A0504216

標準CMOSプロセスで製造した遠隔MEMSデバイス動作用の拡張性光学駆動の高電圧スイッチ

A scalable, optically-driven, high-voltage switch for remote MEMS device operation fabricated with a standard CMOS process

著者 (3件)： Mori Isao (Department of Electrical Engineering and Information Systems, the University of Tokyo) ,  Okamoto Yuki (Department of Electrical Engineering and Information Systems, the University of Tokyo) ,  Mita Yoshio (Department of Electrical Engineering and Information Systems, the University of Tokyo)
資料名： IEICE Electronics Express (Web)  (IEICE Electronics Express (Web))
巻： 14  号： 3  ページ： 20161174(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0039A  ISSN： 1349-2543  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者らは,遠隔MEMS(特に静電アクチュエータ)デバイスの動作に適した,波長変調光によって駆動される高電圧スイッチを提案した。これをSOIウェハ上に製造し,基板をメサ絶縁した直列接続n-MOSFETで構成し,スイッチが高電圧に耐えられるようにした。製造プロセスは,ファウンドリが容易に受け入れることができる標準的なCMOSプロセス自体を変更する必要はない。さらに,スイッチの制御に電気回路の代わりに波長変調した光を用いることにより,スイッチング電圧によらず,簡単で拡張性のある小型スイッチング回路を実現できた。本稿では,5V標準CMOS技術を用いた50Vスイッチの作製と動作について報告した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  *MEMS ,  スイッチ ,  アクチュエータ ,  高電圧 ,  ウエハ【IC】 ,  *光変調
準シソーラス用語： *CMOSプロセス ,  *MEMSデバイス ,  SOIウェハ ,  静電アクチュエータ ,  *波長変調

著者キーワード (4件)： high-voltage switch ,  standard CMOS process ,  MEMS ,  wavelength-modulated light

分類 (1件)： 固体デバイス一般  (NC03010Z)

引用文献 (13件)：

• [1] J. M. Kahn, et al.: “Next century challenges: mobile networking for “smart dust”,” Proc. MobiCom’99 (1999) 271 (DOI: 10.1145/313451.313558).
• [2] B. A. Warneke, et al.: “An autonomous 16 mm³ solar-powered node for distributed wireless sensor networks,” Proc. IEEE Sensors 2002 (2002) 1510 (DOI: 10.1109/ICSENS.2002.1037346).
• [3] O. Fuchiwaki and H. Aoyama: “Flexible micro-processing by multiple miniature robots in SEM vacuum chamber,” Proc. 11th Int. Symp. Micromechatronics and Human Science (2000) 145 (DOI: 10.1109/MHS.2000.903304).
• [4] M. Nakadaet al.: “Optical coherence tomography by all-optical MEMS fiber endoscope,” IEICE Electron. Express 7 (2010) 428 (DOI: 10.1587/elex.7.428).
• [5] R. N. Simonset al.: “RF telemetry system for an implantable bio-MEMS sensor,” IEEE MTT-S Int. Microw. Symp. Dig. 3 (2004) 1433 (DOI: 10.1109/MWSYM.2004.1338841).

タイトルに関連する用語 (6件)： 標準 ,  CMOSプロセス ,  MEMSデバイス ,  拡張性 ,  光学 ,  高電圧