文献

J-GLOBAL ID：201702279998401926   整理番号：17A1021070

核融合応用のためのプラズマ対向材料としてのHiPIMSにより得られたタングステン窒化物被覆【Powered by NICT】

Tungsten nitride coatings obtained by HiPIMS as plasma facing materials for fusion applications

著者 (8件)： Tiron Vasile (Research Department, Faculty of Physics, Alexandru Ioan Cuza University, 700506, Iasi, Romania) ,  Velicu Ioana-Laura (Faculty of Physics, Alexandru Ioan Cuza University, 700506, Iasi, Romania) ,  Porosnicu Corneliu (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 077125, Bucharest, Romania) ,  Burducea Ion (Horia Hulubei National Institute of Physics and Nuclear Engineering, 077125, Bucharest, Romania) ,  Dinca Paul (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, 077125, Bucharest, Romania) ,  Dinca Paul (Faculty of Physics, University of Bucharest, 077125, Bucharest, Romania) ,  Malinsky Petr (Nuclear Physics Institute of the Czech Academy of Sciences, v. v. i., 250 68 Rez, Czech Republic) ,  Malinsky Petr (Department of Physics, Faculty of Science, J.E. Purkinje University, Ceske mladeze 8, 400 96 Usti nad Labem, Czech Republic)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 416  ページ： 878-884  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,at%19 50の範囲中の窒素含有量を有した窒化タングステン被覆は,アルゴンと窒素混合物の関数としての反応性マルチパルス高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより調製し,さらに重水素プラズマジェットに曝露した。試料の元素組成,形態学的特性と物理的構造をRutherford後方散乱分光法,原子間力顕微鏡とX線回折で調べた。重水素プラズマジェットを用いて行った重水素注入と窒素含有タングステン膜のその保持は熱脱着分光法を用いて調べた。重水素保持と放出挙動は被覆と膜の微細構造中の窒素含有量に強く依存した。すべての窒化物被覆は多結晶構造を持ち,純タングステン試料よりも低い重水素レベルを保持していた。膜中の窒素含有量は重水素の拡散障壁として作用し,高い脱着温度をもたらし,従ってより高い結合エネルギー。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線回折 ,  *タングステン ,  微細構造 ,  モルフォロジー ,  結合エネルギー ,  重水素 ,  *窒化物 ,  Rutherford散乱分光法 ,  *プラズマ対向材料 ,  熱脱着 ,  *被覆 ,  原子間力顕微鏡 ,  窒素
準シソーラス用語： 重水素プラズマ ,  窒素含有量 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： タングステン窒化物層 ,  m HIPIMS ,  重水素保持 ,  重水素プラズマジェット ,  熱脱着分光法

分類 (4件)： 表面硬化熱処理  (WC03030E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  質量分析  (CC03013N) ,  防食  (WB03040M)

タイトルに関連する用語 (6件)： 核融合 ,  応用 ,  プラズマ対向材料 ,  HiPIMS ,  タングステン ,  窒化物