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J-GLOBAL ID：201702280010940674   整理番号：17A1457759

湿式化学エッチングで前処理した単結晶SrTiO_3上への白金ナノ粒子のA LD合成【Powered by NICT】

ALD synthesis of platinum nanoparticles on single-crystal SrTiO₃ pretreated with wet chemical etching

著者 (4件)： Wang Chuandao (Department of Materials Science and Engineering, Northwestern University, 2220 North Campus Drive, Evanston, IL 60208-3108, USA) ,  Koirala Pratik (Department of Materials Science and Engineering, Northwestern University, 2220 North Campus Drive, Evanston, IL 60208-3108, USA) ,  Stair Peter (Department of Chemistry, Northwestern University,2145 Sheridan Road, Evanston, IL 60208-3113, USA) ,  Marks Laurence (Department of Materials Science and Engineering, Northwestern University, 2220 North Campus Drive, Evanston, IL 60208-3108, USA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 422  ページ： 661-665  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ぎ酸-水素ペルオキシドおよび緩衝ふっ化水素-水素ペルオキシド溶液は,炭素汚染を除去し,これらの材料上に原子層堆積を改善するためにヒドロキシル基密度を増加させるために単結晶チタン酸ストロンチウムをエッチングするために用いた。X線光電子分光法は炭素汚染除去に有効であることを示した。しかし,チタン酸ストロンチウム表面上のヒドロキシル基密度を増加させるための,緩衝ふっ化水素-水素ペルオキシドがより効果的であった。透過型電子顕微鏡とX線光電子放出は,エッチングしたチタン酸ストロンチウム表面に増強された白金析出を示した。これらの結果は,他の技術的に重要な材料のための原子層堆積を最適化するための基礎を提供する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *単結晶 ,  光電子放出 ,  X線光電子スペクトル ,  X線光電子分光法 ,  *白金 ,  *ウェットエッチング ,  透過型電子顕微鏡 ,  過酸化物 ,  ヒドロキシ基 ,  *前処理 ,  X線 ,  フッ化水素 ,  *エッチング ,  チタン酸ストロンチウム
準シソーラス用語： ALCVD ,  *白金ナノ粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 白金 ,  原子層堆積 ,  エッチング ,  表面条件

分類 (3件)： 試料技術  (BA02070O) ,  吸着の電子論  (CB12042Y) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 化学エッチング ,  単結晶 ,  白金ナノ粒子 ,  LD