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J-GLOBAL ID:201702280102314006   整理番号:17A1187282

Debye長に基づくトリエチルアミンセンシング性能の改善:近室温で動作するαFe_2O_3@NiO(CuO)コア-シェルナノロッドセンサに関する事例研究【Powered by NICT】

Improving the triethylamine sensing performance based on debye length: A case study on α-Fe2O3@NiO(CuO) core-shell nanorods sensor working at near room-temperature
著者 (7件):
資料名:
巻: 245  ページ: 375-385  発行年: 2017年 
JST資料番号: T0967A  ISSN: 0925-4005  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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トリエチルアミン(TEA)のための金属-酸化物-半導体(MOS)に基づくガスセンサは,低い動作温度,高応答,ロバストな製造プロセスと予想される。αFe_2O_3@NiOまたはαFe_2O_3@CuOコア-シェルナノロッド(NR)ヘテロ構造を有するTEAセンサを作製することに成功し,その検出性能はDebye長に基づくシェル厚を制御することにより最適化した。多孔質αFe_2O_3NRは便利な水熱プロセスによる平坦なAl_2O_3基板上に直接調製した。p型シェル層をパルスレーザ蒸着(PLD)法により蒸着した,幅は印加されたレーザパルスを変化させることにより制御される。PNヘテロ接合の形成のために,コア-シェルNRヘテロ構造は,近室温,例えば40°Cで純粋なαFe_2O_3NRよりも性能増強を示した。さらに,このようなヘテロ構造センサ性能はシェル厚さに強い依存性を示した。p型シェル厚さがDebye長(λ_d)に近いとき,最高の応答のコア-シェルセンサを実現した。TEAに対するこのコア-シェルヘテロ構造の増強された検出特性はp型シェルの厚さを最適化することにより空乏層の変調による初期抵抗(R_a)の増加により説明できる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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