文献

J-GLOBAL ID：201702280295981995   整理番号：17A0547996

シリコン結晶中の炭素濃度測定の感度と規格適用濃度と検出下限(2)「検出下限」の用法と科学的根拠

著者 (1件)： 井上直久 (研究公正スタデイグループ)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.14p-F201-14  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *結晶 ,  *炭素 ,  *濃度測定 ,  感度 ,  規格 ,  *検出限界 ,  下限 ,  推論 ,  光吸収 ,  赤外吸収スペクトル ,  二次イオン質量分析 ,  放射化分析
準シソーラス用語： *シリコン結晶 ,  科学的根拠 ,  赤外吸収 ,  SIMS【質量分析】

分類 (3件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  技術の標準化・規格  (HA02000V)

タイトルに関連する用語 (7件)： シリコン結晶 ,  炭素濃度 ,  感度 ,  規格 ,  検出下限 ,  用法 ,  科学的根拠