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J-GLOBAL ID：201702280624331376   整理番号：17A1786683

薄膜熱伝導率測定法の研究進展【JST・京大機械翻訳】

Research progress of measurement for the thermal conductivity of thin films

著者 (4件)： Zhang Wukang (中国科学院上海高等研究院,薄膜光電工程技術研究中心,上海 201210;中国科学院大学,北京 100049) ,  Chen Xiaoyuan (中国科学院上海高等研究院,薄膜光電工程技術研究中心,上海 201210) ,  Li Dongdong (中国科学院上海高等研究院,薄膜光電工程技術研究中心,上海 201210) ,  Fang Xiaohong (中国科学院上海高等研究院,薄膜光電工程技術研究中心,上海 201210)
資料名： Gongneng Cailiao  (Gongneng Cailiao)
巻： 48  号： 6  ページ： 6034-6041,6049  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2095A  ISSN： 1001-9731  CODEN： GOCAEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 薄膜材料はマイクロデバイスの製造に不可欠であり、その熱伝導率は直接にマイクロデバイスの放熱性能を制限し、それによってデバイスの信頼性に影響を与える。そのため、薄膜の熱物理的性質を研究することは半導体デバイスの製造及び集積回路の設計にとって極めて重要である。そのため、薄膜材料の熱伝導率の測定方法について総説し、薄膜の微細構造モデルを分析した上で、熱伝導率測定方法に対して実行可能性分析を行い、薄膜材料の熱性能測定に技術的な参考を提供した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 熱放射 ,  集積回路 ,  *熱伝導率 ,  熱特性 ,  信頼性 ,  *薄膜 ,  微細構造
準シソーラス用語： 熱物性 ,  マイクロデバイス ,  薄膜材料 ,  *熱伝導率測定 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： thin film ,  thermal conductivity ,  measurement method

分類 (2件)： その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R) ,  熱伝導  (PA02020Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  熱伝導率測定 ,  研究 ,  進展