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J-GLOBAL ID：201702280630607487   整理番号：17A0387472

自動車用材料・技術 摺動部品向けDLC膜の機械特性および摺動特性評価

Mechanical and Tribological Properties of DLC Films for Sliding Parts

著者 (2件)： 伊藤弘高 (神戸製鋼所) ,  山本兼司 (神戸製鋼所)
資料名： R&D神戸製鋼技報  (R&D/神戸製鋼技報)
巻： 66  号： 2  ページ： 58-62  発行年： 2017年03月02日 
JST資料番号： F0164A  ISSN： 0373-8868  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,DLC膜は省エネルギーの観点から自動車分野での提供が進んでいる。当社は,DLC成膜装置としてアンバランスドマグネトロンスパッタ(UBMS)装置をラインナップしている。本研究では,UBMS装置を用い,種々の条件で成膜したDLC膜の構造,機械特性および摺動特性について検討した。基材(超硬製インサート,Siウェハ,SKH51)にCr/Cr-C傾斜組成の中間層を形成した後,ArとCH₄ガスを導入してDLC膜を製膜した。DLC膜中の水素含有量はArとCH₄の流量比で制御した。自動車エンジン用部品を想定した潤滑油中の摺動試験結果から,水素含有量の制御と潤滑油中添加剤を適切に組合せることで,低摩擦と低摩耗を両立できることを明らかにした。

シソーラス用語： 自動車 ,  内燃機関 ,  *自動車用鋼 ,  高合金鋼 ,  高速度鋼 ,  高炭素合金鋼 ,  *DLC膜 ,  表面被覆 ,  微細構造 ,  多層構造 ,  機械的性質 ,  *耐摩耗性 ,  滑り摩擦 ,  エンジン油 ,  水素 ,  摩擦係数 ,  顕微鏡観察 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： 自動車材料 ,  自動車エンジン ,  SKH51 ,  微細組織 ,  中間層 ,  摺動摩擦 ,  エンジン潤滑油 ,  原子間力顕微鏡法 ,  透過型電子顕微鏡法

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  機械的性質  (WB02030U)

引用文献 (11件)：

• A. Erdemir et al. Superlubricity. ELSEVIER, 2007, p.471-492.
• 樋口 毅ほか.自動車技術会学術講演会前刷集.2011,No.154-11,p.13-16.
• 村上洋一ほか.月刊トライボロジー.2010,No.272,p.44-47.
• 太刀川英男ほか.まてりあ.2005,Vol.44,No.3,p.245-247.
• J. Robertson. Mater. Sci. Eng. R. Rep. 2002, Vol.37, p.129-281.

タイトルに関連する用語 (6件)： 自動車用材料 ,  摺動部品 ,  DLC膜 ,  機械特性 ,  摺動特性 ,  評価