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J-GLOBAL ID：201702280924484689   整理番号：17A1498815

平面回折格子に基づく高分解能と広範囲の変位測定【Powered by NICT】

High-resolution and wide range displacement measurement based on planar grating

著者 (4件)： Lin Jie (Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China) ,  Guan Jian (Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China) ,  Wen Feng (Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China) ,  Tan Jiubin (Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China)
資料名： Optics Communications  (Optics Communications)
巻： 404  ページ： 132-138  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0678B  ISSN： 0030-4018  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 精密移動ステージのHigh/ultra精密運動測定は近代的製造システムと装置における強く望まれている。本研究では,ナノメータ分解能を有する広範囲三軸格子エンコーダ,x,段階同時にのz軸方向の並進運動y及びを測定できるを導入した。格子エンコーダは,8μmと光学読取りヘッドの周期をもつ反射型平面スケール格子から構成されている。長さと幅を除いて平面スケール格子と同じ,平面基準格子を光学読取りヘッドを採用した。平面スケール格子のxとy方向±一次回折ビームは,平面基準格子の対応する回折ビームと干渉し,測定信号を形成した。二つの平面格子のxとy方向±一次の回折ビームはそれらの元の入射経路に対する伝搬,autocollimatic回折ビームとして働く。それ故,提案したグレーティングエンコーダのz軸方向測定範囲は大幅に増強された。xおよびy軸方向測定範囲は平面スケール格子のサイズに依存する。グレーティングエンコーダをよりコンパクトにするために,二重格子ビームスプリッティング(DGBS)ユニットおよび二つの回折光学素子(DOE)を紹介した。実験結果はz軸方向変位分解能は著者らの研究室が開発した80セグメントの電子データ分割カードを用いて4nmであることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *変位測定 ,  *分解能 ,  軸方向 ,  *回折格子 ,  並進 ,  生産システム ,  符号器 ,  *高分解能 ,  *回折
準シソーラス用語： 回折光学素子 ,  三軸 ,  ナノメータ ,  運動測定 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 変位測定 ,  高分解能測定 ,  平面格子 ,  格子符号器

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 回折格子 ,  高分解能 ,  変位測定