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J-GLOBAL ID：201702281006693476   整理番号：17A0076678

ZNO多層膜の調製と電磁遮蔽性能の研究【JST・京大機械翻訳】

Preparation of ZnO/Cu multilayer films and study on the performance of electromagnetic shielding

著者 (4件)： Sheng Chengcheng (Key Laboratory of Science and Technology of Eco-Textile, Ministry of Education, Southern Yangtze University) ,  Xu Yang (Key Laboratory of Science and Technology of Eco-Textile, Ministry of Education, Southern Yangtze University) ,  Qiao Hui (江南大学) ,  Wei Qufu (Key Laboratory of Science and Technology of Eco-Textile, Ministry of Education, Southern Yangtze University)
資料名： Gongneng Cailiao  (Gongneng Cailiao)
巻： 47  号： 8  ページ： 8089-8093  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2095A  ISSN： 1001-9731  CODEN： GOCAEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ナノ構造CU単層膜とZNO多層膜をマグネトロンスパッタリングによって調製し,原子間力顕微鏡(AFM)を用いて表面形態を分析し,4プローブ試験装置とベクトルネットワークアナライザを用いてサンプルの電気的性質を試験した。結果は,ZNO膜の表面に成長したCU膜が,PET織物の表面上に成長したCU膜の均一性と電気的性質を改善することを示した。CU被覆時間が同じ場合,ZNO膜の電気的性質は,ZNO被覆時間の増加と共に,最初に増加し,次に減少し,そして,ZNO被覆時間が20分のとき,多層膜の電気的性質は,最高であった。ZNO被覆時間が同じ場合、CUめっき時間の増加に伴い、多層膜の電気的性質と織物表面の粒子均一性は先に向上し、最終的に安定したプロセスになり、遮蔽効果の最大平均値は56DBに達した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 試験装置 ,  *電磁遮蔽 ,  めっき ,  原子間力顕微鏡 ,  ナノ構造 ,  電気的性質 ,  プローブ ,  *多層膜 ,  被覆 ,  マグネトロンスパッタリング ,  表面形態 ,  単層膜
準シソーラス用語： 遮蔽効果 ,  ベクトルネットワークアナライザ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： magnetron sputtering ,  ZnO/Cu multilayer film ,  copper single-layer film ,  atomic force microscope (AFM) ,  electrical properties

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnO ,  多層膜 ,  調製 ,  電磁遮蔽 ,  研究