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J-GLOBAL ID：201702281217626176   整理番号：17A1454123

熱フィラメント化学気相蒸着により成長させたMoSe_2の構造特性と光学的性質に及ぼす水素の影響【Powered by NICT】

Effects of hydrogen on the structural and optical properties of MoSe₂ grown by hot filament chemical vapor deposition

著者 (11件)： Wang B.B. (College of Chemistry and Chemical Engineering, Chongqing University of Technology, 69 Hongguang Rd, Lijiatuo, Banan District, Chongqing 400054, PR China) ,  Zhu M.K. (College of Materials Science and Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100124, PR China) ,  Levchenko I. (Plasma Sources and Applications Centre, National Institute of Education, Nanyang Technological University, 1 Nanyang Walks, 637616 Singapore, Singapore) ,  Levchenko I. (School of Chemistry, Physics and Mechanical Engineering, Queensland University of Technology, Brisbane, QLD 4000, Australia) ,  Zheng K. (Institute of Microstructure and Properties of Advanced Materials, Beijing University of Technology, Beijing 100124, PR China) ,  Gao B. (College of Computer Science, Chongqing University, Chongqing 400044, PR China) ,  Gao B. (Chongqing Municipal Education Examinations Authority, Chongqing 401147, PR China) ,  Xu S. (Plasma Sources and Applications Centre, National Institute of Education, Nanyang Technological University, 1 Nanyang Walks, 637616 Singapore, Singapore) ,  Ostrikov K. (School of Chemistry, Physics and Mechanical Engineering, Queensland University of Technology, Brisbane, QLD 4000, Australia) ,  Ostrikov K. (CSIRO-QUT Joint Sustainable Processes and Devices Laboratory, Commonwealth Scientific and Industrial Research Organization, P.O. Box 218, Lindfield, NSW 2070, Australia) ,  Ostrikov K. (School of Physics, The University of Sydney, Sydney, NSW 2006, Australia)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 475  ページ： 1-9  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 特異的にセレン化モリブデン(MoSe_2)ナノ材料の成長と構造における反応性環境と水素の役割は現在議論されていると,水素がMoSe_2シートの成長を促進し,それらの電子的性質を変えることができるかどうかは明らかでない。MoSe_2ナノ材料の核形成,成長および結果としての特性を制御するための効率的で便利な方法を見出すために,純水素,窒素ガスと水素-窒素混合物中の三酸化モリブデンとセレン粉末を用いたホットフィラメント化学蒸着によりシリコン基板上に合成したMoSe_2ナノフレーク。合成MoSe_2ナノフレークの構造と組成を,電界放出走査電子顕微鏡,顕微Raman分光法,X線光電子分光法,透過型電子顕微鏡法およびエネルギー分散X線分光法を含む最新の特性評価装置を用いて研究した。成長過程の解析は,水素がMoSe_2ナノフレークの形成を改善し,水素の高い還元能力とシリコン表面に及ぼすMoSe_2ナノフレークのより多くの核形成中心の生成のためにそれらの特性を大きく変えることができることを示した。光ルミネセンス(PL)特性の研究は,MoSe_2ナノフレークは約631nmに強いPLバンドを生成し,単純MoSe_2ナノフレークとは異なることを明らかにした。PL特性の主な差異はMoSe_2ナノフレークの端に関連する可能性がある。これらの結果は,MoSe_2ベースナノ材料の成長と構造を制御するために用いることができ,高度MoSe_2ベースオプトエレクトロニクス素子の開発に寄与する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *構造特性 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  化学蒸着 ,  ケイ素 ,  顕微Raman分光法 ,  *光学的性質 ,  キャラクタリゼーション ,  *フィラメント ,  光ルミネセンス ,  X線光電子分光法 ,  セレン ,  *水素 ,  核形成 ,  ナノ材料 ,  X線光電子スペクトル
準シソーラス用語： ナノフレーク , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： A1ナノ構造 ,  A3化学蒸着過程 ,  B1無機化合物 ,  B2半導性材料

分類 (2件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 化学 ,  気相蒸着 ,  成長 ,  構造特性 ,  光学的性質 ,  水素