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J-GLOBAL ID：201702281254152144   整理番号：17A0007746

サブファブ内の安全性の確保

Ensuring safety in the sub-fab

著者 (2件)： IFOULD Alan (Edwards, North Somerset, GBR) ,  CHAMBERS Andrew (Edwards, North Somerset, GBR)
資料名： Solid State Technology  (Solid State Technology)
巻： 59  号： 5  ページ： 30,32-35  発行年： 2016年07月 
JST資料番号： E0226A  ISSN： 0038-111X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サブファブには多数のポンプや除害装置が収納され,クリーンルーム内の数多くの装置のプロセス容器に必要な清浄な環境を創出するのみならず,製造プロセスにより発生した排気ガスや副産物を処理する支援を行なう。この観点から,サブファブ運用の効率および効能が,生産工場の有用性,生産性,総操業コスト,および歩留まりに,直接影響を及ぼす。半導体製造プロセスに存在する多くの材料の有害性は,工場従業者および工場近くの住民や従業者に対して,重大な安全性リスクを生じ,製造者や投資家に対して,財務リスクを生じる。プロセスの変更や新しい材料の導入の際に,正式なリスクアセスメントが不完全または欠落している結果として,問題がしばしば発生する。これらのリスク管理には,プロセスおよび材料に関して,多数の異なる種類の応用にわたる広範な経験,および,理想的には,新しいプロセスの開発および最適化の間のプロセス装置製造者との連携に基づく,詳細なかつ最新の技術的理解を必要とする。

シソーラス用語： *半導体プロセス ,  *安全性 ,  *生産システム ,  クリーンルーム ,  リスク管理
準シソーラス用語： *ファブ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： サブ ,  ファブ ,  安全性