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J-GLOBAL ID：201702281459669299   整理番号：17A1090507

スキャナツールの焦点制御と監視の増強法

Enhanced methodology of focus control and monitoring on scanner tool

著者 (7件)： CHEN Yen-Jen (GLOBALFOUNDRIES, NY) ,  KIM Young Ki (GLOBALFOUNDRIES, NY) ,  HAO Xueli (GLOBALFOUNDRIES, NY) ,  GOMEZ Juan-Manuel (GLOBALFOUNDRIES, NY) ,  TIAN Ye (ASML, NY) ,  KAMALIZADEH Ferhad (ASML, NY) ,  HANSON Justin K. (ASML, NY)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10145  号： Pt.2  ページ： 101452K.1-101452K.9  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： YIELDSTARによる高い精度と再現性の焦点測定は,走査装置のセットアップとユーザプロセスの共通基準を提供する。TWINSCAN NXT液浸スキャナの焦点監視/制御には,計測と整合性能をさらに向上させるために,正確且つ高速非破壊焦点取得を可能にするDBF(回折に基づく焦点)計測法が用いられている。最適DBFターゲットは,露光量クロストーク,動的精度,セット-ゲット残差,及びレンズ収差感度を最小にするように決定した。DBFに基づくセット黄金基線の新しい計測法により,複数のTWINSCAN液浸スキャナの間で,ずれが<2.4nmの平均焦点整合を達成した。

シソーラス用語： *走査装置 ,  *焦点 ,  *制御 ,  用量 ,  露光 ,  開口数 ,  計測 ,  監視 ,  *リソグラフィー
準シソーラス用語： 液浸スキャナ ,  散乱測定 ,  *焦点制御 ,  露光量

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： スキャナ ,  ツール ,  焦点 ,  増強