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J-GLOBAL ID：201702281500740318   整理番号：17A0858198

改良された動的時間ワーピングを用いた半導体プロセス信号の特異性問題の解法【Powered by NICT】

Solving the Singularity Problem of Semiconductor Process Signal Using Improved Dynamic Time Warping

著者 (3件)： Hong Jae Yeol ,  Park Seung Hwan ,  Baek Jun-Geol
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICSC  ページ： 266-267  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体プロセスのようなマイクロプロセスでは,変数の変動は最終製品の品質に直接影響する。変数における変動を監視し,管理することが重要である。このとき,信号が発生する。しかし,信号は移動平均と不均一分散,および特異的部分の異なる長さを持っている。それは種々の全長を持つ。最近,DTW(Dynamic Time Warping)は,信号の調整するために使用されている。しかし,信号の平均と分散は均一ではなく,特異点が生じるという問題が生じる。特異点を時系列的に単一点が他の時系列の一部へ接続する直感アラインメントを意味している。特異点が生じるという問題を解決するために,本論文では,信号の特徴としてMODWT(最大オーバラップ離散ウェーブレット変換)を使用し,次に分割行列を用いたワーピング経路を計算することを提案した。信号を処理するためのDTWを適用した場合の特異点問題を解いた。DTWと提案した方法にプロセス信号を適用した結果を比較することにより,提案した方法は,プロセス信号のDTWよりも良好であることを確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： アラインメント ,  品質 ,  *半導体プロセス ,  特異点
準シソーラス用語： 離散ウェーブレット変換 ,  オーバラップ ,  最終製品 ,  *特異性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： パターン認識  (JE07000S) ,  数理計画法  (KA03030M)

タイトルに関連する用語 (5件)： ワーピング ,  半導体プロセス ,  特異性 ,  問題 ,  解法