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J-GLOBAL ID：201702281539045248   整理番号：17A0996313

呼気ガスのモニタリングのためのマイクロ熱電ガスセンサの熱伝達制御【Powered by NICT】

Heat transfer control of micro-thermoelectric gas sensor for breath gas monitoring

著者 (7件)： Goto Tomoyo (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 2266-98 Shimo-Shidami, Moriyama-ku, Nagoya 463-8560, Japan) ,  Itoh Toshio (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 2266-98 Shimo-Shidami, Moriyama-ku, Nagoya 463-8560, Japan) ,  Akamatsu Takafumi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 2266-98 Shimo-Shidami, Moriyama-ku, Nagoya 463-8560, Japan) ,  Sasaki Yoshitaka (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 2266-98 Shimo-Shidami, Moriyama-ku, Nagoya 463-8560, Japan) ,  Sasaki Yoshitaka (Aichi Institute of Technology, 1247 Yachigusa, Yakusa-Cho, Toyota 470-0392, Japan) ,  Sato Kazuo (Aichi Institute of Technology, 1247 Yachigusa, Yakusa-Cho, Toyota 470-0392, Japan) ,  Shin Woosuck (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 2266-98 Shimo-Shidami, Moriyama-ku, Nagoya 463-8560, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 249  ページ： 571-580  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ熱電ガスセンサ(ミクロTGS)は呼気中の選択的ガス検出のための水素またはメタンの触媒燃焼によって誘起される熱電電圧を使用した。これはホットプレート,標的ガスの選択的燃焼を可能にするとして同じ膜上に構築されたマイクロヒータを用いた高温下で達成した。膜上の触媒によって構築された温度差はミクロTGSのオフセット電圧(V_off),増幅回路応用を制限することを誘導する。本研究では,αAl_2O_3ペーストを用いて調製した熱散逸ドットの付加的集積プロセスによるV_offを抑制するように努めた。本論文では,有限要素法(FEM)モデリングによるミクロTGS膜上の熱バランスに及ぼすこれらαAl_2O_3ドットの影響を論じた。ドットは燃焼触媒対称位置で堆積したとき,V_offはドットのサイズ,数,及び位置に依存して補償した。ドットによるミクロTGS伝熱制御は,さらに3次元FEMモデリングにより検証した。FEMモデリングにおけるαAl_2O_3ドットによるV_offの変化は実験のそれよりも大きく,ミクロTGS膜の高い熱伝導率を示唆した。プロセス不均一性による膜熱伝導率の偏差はV_offに有意に影響した;が,ドットの付加的統合により効果的に低下した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 増幅器 ,  電圧 ,  モデリング ,  触媒 ,  水素 ,  三次元 ,  *呼気 ,  熱伝導率 ,  *ガスセンサ ,  アルミニウム ,  触媒燃焼 ,  不均一性 ,  有限要素法 ,  *熱伝達 ,  マイクロヒータ ,  アルカン

著者キーワード (5件)： ガスセンサ ,  触媒 ,  熱電デバイス ,  微小電気機械システム(MEMS) ,  有限要素法(FEM)

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (5件)： 呼気 ,  モニタリング ,  マイクロ ,  ガスセンサ ,  熱伝達