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J-GLOBAL ID：201702281539182831   整理番号：17A1943542

円すい形能動的磁気ベアリング上のターボ分子ポンプ

Turbomolecular pumps on conical active magnetic bearings

著者 (4件)： BONFITTO Angelo (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Politecnico di Torino) ,  AMATI Nicola (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Politecnico di Torino) ,  SUAREZ Lester D. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Politecnico di Torino) ,  TONOLI Andrea (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Politecnico di Torino)
資料名： Mechanical Engineering Journal (Web)  (Mechanical Engineering Journal (Web))
巻： 4  号： 5  ページ： 16-00569(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0484A  ISSN： 2187-9745  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 磁気浮上は,真空分野,特にターボ分子ポンプの分野で着実に成長している。今日,ポンピング能力が小から中のポンプに対するほとんどの解決策は,受動的磁気ベアリングとセラミック・ボールベアリングの組み合わせに基づいている。反対に,円柱形状の完全に能動的な磁気浮上は,ポンプ流量が中から高の機械の標準となっている。円柱形状は簡単だが,軸方向構造円板のひずみに関連する欠点に陥りがちであり,このことが代替構造を検討する動機となっている。以前の文献で示されたように,円すい形状の採用は,駆動電子回路の小型化に加えて,同じデバイスが二つの駆動平面で作動することにより半径方向と軸方向の自由度の制御が同時に行えることを考えると,有望である。本論文は,円すい形の能動的磁気ベアリングで支持されるターボ分子ポンプの開発と実験的特性評価を記述する。制御設計は位置及び制御ループによる単一入出力(SISO)分散化手法に基づいている。電流ループの特性評価に基づく回転子センタリング手法を明らかにする。外部位置決めループは,関連する伝達関数を測定して制御器を精緻化し,臨界速度を安全に横切るように調節する。8基の電磁石の電力駆動は,電力スイッチの数を最小化するために,標準のHブリッジの代わりに3相配置駆動手法により行う。実験結果とシミュレーション・モデルで得た数値計算を,このモデリング法の妥当性と円すい構造の有効性の証拠として一緒に報告する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *磁気軸受 ,  *円錐 ,  *分子ポンプ ,  *磁気浮上 ,  *計算機アーキテクチャ ,  ばね ,  玉軸受 ,  数値計算 ,  シミュレーションモデル ,  モデリング ,  SISOシステム ,  分散化 ,  回転子 ,  アクチュエータ ,  論理関数 ,  設計 ,  変位測定 ,  センサ ,  位置制御
準シソーラス用語： *能動型磁気軸受 ,  *ターボ分子ポンプ ,  *AMB ,  ハイブリッドアーキテクチャ ,  磁気サスペンション ,  スイッチング関数 ,  制御設計 ,  変位センサ

著者キーワード (6件)： Turbomolecular ,  Pump ,  Conical ,  AMB ,  Vacuum ,  Three-phase

分類 (1件)： 真空ポンプ  (QD04030I)

引用文献 (9件)：

• Amati N., Silvagni M., Tonoli A., Electromechanical Dampers for Vibration Control of Structures and Rotors, Vibration Control, Mickael Lallart (HRV), pp. 32, Vol. 1, ISBN: 9789533071176, (2010), pp. 1-32.
• Bleuler, H., Cole, M., Keogh, P., Larsonneur, R., Maslen, E., Nordmann, R., Okada, Y., Schweitzer, G. and Traxler, A., Magnetic Bearings Theory, Design, and Application to Rotating Machinery, Springer, Berlin Heidelberg, (2009).
• Bonfitto, A., Tonoli, A., Botto, G., Silvagni, M., Suarez, L.D., Rotor on cone-shaped active magnetic bearings with three-phases power drivers, 13th International symposium on magnetic bearings, (2012).
• Chiba, A., Fukao, T., Ichikawa, O., Oshima, M., Takemoto, M. and Dorrell, D.G., Magnetic Bearings and Bearingless drives, Elsevier, Oxford, (2005).
• Genta, G., Dynamics of rotating systems, Springer Verlag, New York (2005).

タイトルに関連する用語 (3件)： 円すい形 ,  磁気ベアリング ,  ターボ分子ポンプ