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J-GLOBAL ID：201702281709706210   整理番号：17A1276673

高感度湿度センサとAlN表面音響波とグラフェン酸化物検出層に基づく周波数の低温度係数【Powered by NICT】

A humidity sensor with high sensitivity and low temperature coefficient of frequency based on aln surface acoustic wave and graphene oxide sensing layer

著者 (5件)： Le Xianhao (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, 310027, People’s Republic of China) ,  Ding Hong (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, 310027, People’s Republic of China) ,  Pang Jintao (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, 310027, People’s Republic of China) ,  Wang Yixiang (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, 310027, People’s Republic of China) ,  Xie Jin (State Key Laboratory of Fluid Power and Mechatronic Systems, Zhejiang University, Hangzhou, 310027, People’s Republic of China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 210-213  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,センシング層としてのグラフェン酸化物(GO)で被覆したAlN表面音響波(SAW)デバイスに基づく湿度センサを報告した。薄いAlN層と高濃度ドープSi基板層から成る層状構造を利用して,センサの周波数の温度係数(TCF)は約22.1ppm/°Cであり,従来のSAW湿度センサよりもはるかに小さいことが分かった。さらに,センサは,5%から95%RHまでの広い検出範囲を持ち,90%RHで420.8kHz/10%までRH高感度を示した。センサのヒステリシス,優れた再現性,迅速応答,短い回復時間を得た。センサも28日間で良好な安定性を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 層状組織 ,  *弾性表面波 ,  再現性 ,  ドーピング ,  *高感度 ,  *センサ ,  *湿度センサ ,  *周波数 ,  *窒化アルミニウム ,  ヒステリシス ,  *温度係数
準シソーラス用語： 回復時間 ,  シリコンウエハ ,  高濃度 ,  *酸化グラフェン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高感度 ,  湿度センサ ,  AlN ,  表面音響波 ,  グラフェン酸化物 ,  温度係数