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J-GLOBAL ID：201702282003890196   整理番号：17A0263000

FTO薄膜調製技術の研究進展【JST・京大機械翻訳】

Research Development on Preparation of FTO Thin Film

著者 (5件)： Yu Jianyuan (College of Materials Science and Engineering,Yanshan University) ,  Wang Likun (College of Materials Science and Engineering,Yanshan University) ,  Wang Li (College of Materials Science and Engineering,Yanshan University) ,  Song Yujia (College of Materials Science and Engineering,Yanshan University) ,  Zhao Hongli (College of Materials Science and Engineering,Yanshan University)
資料名： Rengong Jingti Xuebao  (Rengong Jingti Xuebao)
巻： 45  号： 11  ページ： 2645-2649  発行年： 2016年 
JST資料番号： W0398A  ISSN： 1000-985X  CODEN： RJXUEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 本論文では、まずFTO薄膜の特性と応用について簡単に述べ、その後、薄膜の調製法について、ゾル-ゲル法、マグネトロンスパッタリング法、化学気相堆積法及びスプレー熱分解法などの既存の技術及び研究進展について全面的に総説した。最後に,FTO薄膜の調製技術の改良とFTOの理論的設計の展望を示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ゾル-ゲル法 ,  マグネトロンスパッタリング ,  化学蒸着 ,  *薄膜
準シソーラス用語： スプレー熱分解 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： FTO thin film ,  preparation method ,  development

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： FTO ,  薄膜 ,  調製 ,  研究 ,  進展