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J-GLOBAL ID：201702282296755388   整理番号：17A0933194

2D遷移金属(Mo,W,Re,Nb,Ta)の硫化: 熱力学,処理と特性評価

Sulfidation of 2D transition metals (Mo, W, Re, Nb, Ta): thermodynamics, processing, and characterization

著者 (6件)： SIMCHI Hamed (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  WALTER Timothy N. (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  CHOUDHURY Tanushree H. (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  KIRKLEY Louis Y. (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  REDWING Joan M. (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  MOHNEY Suzanne E. (Pennsylvania State Univ., PA, USA)
資料名： Journal of Materials Science  (Journal of Materials Science)
巻： 52  号： 17  ページ： 10127-10139  発行年： 2017年09月 
JST資料番号： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2次元遷移金属二カルコゲン化物としてDCマグネトロンスパッタした遷移金属(Mo,W,Re,Nb,Ta)を硫黄ガスとH₂S中で硫化した。蒸着金属は硫化前に酸化しており,硫化後Mo,WとRe膜はMoS₂,WS₂とReS₂相に変化した。対照的にNbとTa膜の硫化は困難で硫化処理後も酸化物のままであった。表面トポグラフィでは硫化後MoS₂とWS₂は滑らかでReS₂では非常に大きなリボンが形成された。熱力学的計算ではMo,WとRe酸化物は硫化物への転移が好ましく(低硫黄分圧でも),NbとTa酸化物は非常に安定で(高硫黄分圧まで)硫化物形成が困難であった。平衡計算はH₂S中のNb,Ta酸化物硫化の可能性を示唆し,700TorrH₂S下の硫化プロセス後それぞれNbS₂とTaS₂が得られた。

シソーラス用語： *遷移金属化合物 ,  モリブデン ,  タングステン ,  レニウム ,  ニオブ ,  タンタル ,  *硫化 ,  熱力学 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  二酸化硫黄 ,  硫化水素 ,  酸化 ,  金属薄膜 ,  トポグラフィー【形態】 ,  表面性状 ,  計算 ,  分圧 ,  酸化物 ,  構造 ,  二次元
準シソーラス用語： DCマグネトロンスパッタリング ,  ガス分圧 ,  二次元構造 ,  *遷移金属ジカルコゲナイド ,  熱力学計算 ,  表面トポグラフィー

分類 (2件)： 硫黄とその化合物  (YB02020L) ,  熱化学  (CB02040L)

タイトルに関連する用語 (9件)： 2D ,  遷移金属 ,  Mo ,  Re ,  Nb ,  Ta ,  硫化 ,  熱力学 ,  特性評価