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J-GLOBAL ID：201702282766687660   整理番号：17A1562351

フェムト秒レーザ誘起破壊分光法:高空間分解能をもつ薄膜の元素イメージング【Powered by NICT】

Femtosecond laser-induced breakdown spectroscopy: Elemental imaging of thin films with high spatial resolution

著者 (4件)： Ahamer Christoph M. (Institute of Applied Physics, Johannes Kepler University Linz, A-4040 Linz, Austria) ,  Riepl Kevin M. (Institute of Applied Physics, Johannes Kepler University Linz, A-4040 Linz, Austria) ,  Huber Norbert (Institute of Applied Physics, Johannes Kepler University Linz, A-4040 Linz, Austria) ,  Pedarnig Johannes D. (Institute of Applied Physics, Johannes Kepler University Linz, A-4040 Linz, Austria)
資料名： Spectrochimica Acta. Part B. Atomic Spectroscopy  (Spectrochimica Acta. Part B. Atomic Spectroscopy)
巻： 136  ページ： 56-65  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0793A  ISSN： 0584-8547  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高空間分解能をもつ薄膜の分光化学イメージングのためのフェムト秒レーザ誘起破壊分光法(fs LIBS)を研究した。化学イメージが,位置当たり1fsレーザパルスを用いた試料の2Dラスタ走査の各部位でのLIBSスペクトルを記録することにより得られた。Echelle分光計の回折画像増倍CCD検出器の読出し時間を低減し,echellogramsにおけるピークドリフトに対するエミッション信号の安定性を増すためのビン。ガラス上の銅薄膜に対してCuI発光線の強度とアブレーションクレータのサイズは膜厚h_Cu=5 500nmの非単調に変化した。発光効率,アブレートされた体積当たりのCuI線強度として定義された,は,光学的貫通深さより厚い膜に関して強く減少した。ガラスからのNa(I)線強度は,Cu膜厚の減少と共に指数関数的に増加する。MgO上のイットリウムバリウム銅オキシド(YBCO)薄膜ではレーザ誘起プラズマの様々な原子及び分子発光線を測定した(膜厚h_YBCO=200~1000nm)。得られた要素(Y, Ba, Cu, Mg)と分子(Y O)fs LIBS画像はマイクロパターン化YBCO膜の構造を非常に良く一致した。達成された横方向分解能δr=6μmを,分光LIBSイメージングのための報告された最良の値の一つである。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 酸化マグネシウム ,  ガラス ,  レーザパルス ,  *画像処理 ,  *フェムト秒 ,  銅 ,  イットリウムバリウム銅酸化物 ,  発光 ,  スペクトル ,  *分解能 ,  *画像 ,  レーザプラズマ ,  膜厚 ,  分光計
準シソーラス用語： *高空間分解能 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： フェムト秒レーザアブレーション ,  レーザ誘起破壊分光法(LIBS) ,  分光化学イメージング ,  YBa_2Cu_3O_7(YBCO) ,  薄膜

分類 (1件)： 分光分析  (CC03012W)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒 ,  レーザ誘起破壊分光法 ,  高空間分解能 ,  薄膜 ,  元素 ,  イメージング