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J-GLOBAL ID：201702282849464270   整理番号：17A1674199

構造最適化に基づく高次モードマイクロセンサの感度向上法【JST・京大機械翻訳】

Structure optimization based sensitivity improving method forhigh order mode multi-stepped cantilever mass sensor

著者 (3件)： Zhao Jian (大連理工大学工業装備結構分析国家重点実験室汽車工程学院,遼寧大連,116024) ,  Zhang Shumin (大連理工大学工業装備結構分析国家重点実験室汽車工程学院,遼寧大連,116024) ,  Gao Renjing (大連理工大学工業装備結構分析国家重点実験室汽車工程学院,遼寧大連,116024)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 25  号： 3  ページ： 656-662  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 高感度は,細菌,ウイルス,およびガスを正確に検出するためのマイクロセンサの重要な指標となることが分かっていることを示しているものと思われる。小型化された高次モードのビーム振動は,検出感度を効果的に向上させることができるが,しかし,マイクロスケール効果は,センサの抗環境干渉能力を減少させることができる。従って,特定のスケール制約の下で,高次モードセンサの感度を改善する方法は,共振器マイクロセンサの設計の最前線になった。本論文では、弾性梁の幾何構造、圧電層のサイズと有効質量の分布が振動モードに与える影響を研究した上で、圧電駆動多段階梁式マイクロ質量センサーの感度分析モデルを構築し、センサーの感度向上を最大にすることを目標とした。高次振動モードにおける片持梁の幾何学的構造の最適設計モデルを確立し,異なる振動モードの下での最大感度を有する片持ち梁の構造を得て,同サイズのセンサの感度を10.0~15.0倍に向上させることができた。駆動位置と製造コストの制約を考慮して,六次構造をもつ高次モードマイクロセンサを設計し,開発した。実験結果により,17.6mmの長さをもつ6段階のマイクロビームセンサの感度は,18.8×104Hz/gであり,そして,二次モードの感度は,同じサイズの断面梁のそれの10.0倍であった。一次モードと同じサイズのセンサの感度は19.8倍に向上し,提案した高次モードマイクロセンサの感度向上法の有効性と実現可能性を検証した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 片持梁 ,  細菌 ,  小型化 ,  *センサ ,  圧電気 ,  最適設計 ,  高感度 ,  *構造最適化 ,  有効質量 ,  共振器 ,  感度解析 ,  振動モード
準シソーラス用語： 質量センサ ,  *マイクロセンサ ,  *高次モード , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： micro mass sensor ,  higher-order mode ,  sensitivity ,  resonance ,  structural optimization

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 構造最適化 ,  高次モード ,  マイクロセンサ ,  感度向上