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J-GLOBAL ID:201702282923008498   整理番号:17A0619562

シリーズ・企業訪問 きらりと光る優良企業(第26回)世界最先端を行く単層カーボンナノチューブなど材料技術で気を吐く日本ゼオン(株)

著者 (1件):
資料名:
巻: 33  号:ページ: 48-52  発行年: 2017年05月20日 
JST資料番号: L0322A  ISSN: 1342-2839  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本稿では,材料技術に長けた日本ゼオン(株)が量産化に成功したスーパーグロース(SG)法による単層カーボンナノチューブ(CNT)の製作について解説すると共に,この手法により得られたSGCNTの用途例として超小型キャパシタとパワー素子の放熱について解説した。さらに,エレクトロニクス関連の話題として,電子線レジスト,逆テーパーレジスト,シリコン酸化膜エッチングガス,及びリチウムイオン二次電池用バインダについて紹介した。
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分類 (2件):
分類
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炭素とその化合物  ,  固体デバイス製造技術一般 

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