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J-GLOBAL ID：201702283168796763   整理番号：17A0391842

石英のレーザ誘起損傷特性に及ぼす磁気レオロジーの影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effect of magnetorheological finishing on laser damage properties of fused silica

著者 (4件)： Shi Feng (College of Mechatronics Engineering and Automation,Hu’nan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology,National University of Defense Technology) ,  Wan Wen (College of Mechatronics Engineering and Automation,Hu’nan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology,National University of Defense Technology) ,  Dai Yifan (College of Mechatronics Engineering and Automation,Hu’nan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology,National University of Defense Technology) ,  Peng Xiaoqiang (College of Mechatronics Engineering and Automation,Hu’nan Key Laboratory of Ultra-precision Machining Technology,National University of Defense Technology)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 24  号： 12  ページ： 2931-2937  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 石英ガラス素子のレーザ損傷閾値をさらに向上させるために,フッ化水素酸(HF)の動力学的性質の影響を研究した。まず第一に,異なるプロセスを用いて石英部品を調製し,それらの表面粗さを測定した。次に,飛行時間-二次イオン質量分析(OF-SIMS)を用いて,磁気レオロジー処理の前後の石英中の金属不純物元素の含有量と深さを測定した。1-ON-1方法を用いて、レーザー損傷閾値を測定し、損傷形態を観察し、損傷ピットの形態に対して統計を行った。最後に,MRの研磨プロセスにおける石英の損傷閾値を向上させる理由を分析した。それを,磁気レオロジーによって処理されていないものと比較して,結果は,以下のことを示した。磁気レオロジー研磨により,石英ガラスのレーザ誘起損傷閾値は23.3%増加し,金属不純物元素の含有量も著しく減少し,特に石英ガラスのレーザ損傷特性に影響するCE元素は完全に除去された。得られた結果は,MRの研磨プロセスがHF酸の動的処理のための議プロセスとして使用できることを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 石英ガラス ,  *石英 ,  研磨 ,  *レーザ損傷 ,  フッ化水素酸 ,  レーザ損傷閾値 ,  機械工作

著者キーワード (6件)： Magnetorheological Finishing(MRF) ,  fused silica ,  optical component ,  optical element ,  Hydrogen Fluoride(HF)acid dynamic etching ,  Laser-Induced Damage Threshold(LIDT)

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  非線形光学  (BD05000T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 石英 ,  レーザ誘起損傷 ,  磁気レオロジー ,  研究