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J-GLOBAL ID：201702283348083861   整理番号：17A1791336

非溶接式ナノワイヤ機械的性能試験デバイス構造設計【JST・京大機械翻訳】

Design of a MEMS Device for Mechanical Property Testing of Nanowires without Welding

著者 (5件)： Du Lin (上海大学机電工程与自動化学院,上海,200072) ,  Rao Jinjun (上海大学机電工程与自動化学院,上海,200072) ,  Wu Zhizheng (上海大学机電工程与自動化学院,上海,200072) ,  Liu Mei (上海大学机電工程与自動化学院,上海,200072) ,  Cao Ning (上海大学机電工程与自動化学院,上海,200072)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 30  号： 6  ページ： 831-835  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ナノワイヤの機械的性質の試験において、通常のMEMSデバイスのほとんどは、溶接又は堆積方式によってナノワイヤを固定し、デバイスの寿命とテスト再現性を制限している。溶接方式試験の不足に対して、非溶接式ナノワイヤの機械的性質を測定するMEMSデバイスを設計した。静電交差指と支持梁の構造に基づいて,梁の剛性差を用いてクランプと引張操作を行う構造を設計し,その中で,構造を避けて溶接ナノワイヤを避けるように設計した。有限要素シミュレーションソフトウェアを用いてシミュレーションを行い、最適な構造寸法を確定し、V型の隙間角度が22.5°より小さい時、ナノワイヤの機械的性質のテスト要求を満たし、設計したデバイスはテストデバイスの再利用率を高めた。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 剛性 ,  機械的性質 ,  *ナノワイヤ ,  引張 ,  MEMS ,  クランプ ,  *構造設計 ,  ソフトウェア ,  *溶接 ,  再利用 ,  再現性
準シソーラス用語： 有限要素シミュレーション ,  *機械的性能 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： MEMS ,  mechanical properties ,  rigidity difference ,  without welding ,  electrostatic actuation ,  contact slip

分類 (3件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 溶接 ,  ナノワイヤ ,  機械的性能 ,  試験 ,  デバイス構造 ,  設計