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J-GLOBAL ID：201702283537096454   整理番号：17A1350697

チップスケール原子磁力計のためのMEMSパッケージングによる非緩和被覆互換性を有するウエハレベルマイクロアルカリ蒸気セル【Powered by NICT】

Wafer-Level Micro Alkali Vapor Cells with Anti-Relaxation Coating Compatible with MEMS Packaging for Chip-Scale Atomic Magnetometers

著者 (4件)： Ji Yu ,  Shang Jintang ,  Gan Qi ,  Wu Lei
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ECTC  ページ： 2116-2120  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超伝導量子干渉デバイスと比較して,ウエハレベルマイクロアルカリ蒸気セルを用いたチップスケール原子磁力計は,地球物理学的マッピング,健康管理と遠隔監視の応用においてより便利に使用することができる。大幅な壁衝突と減少した分極寿命はチップスケール原子磁力計の性能に対する主要なバリアである。本研究では,マイクロ蒸気セルの内部表面上に被覆されたOTS有機膜では壁と原子の衝突を抑制し,マイクロセル中のアルカリ原子の偏極寿命を改善するために使用した。まず第一に,ウエハレベルマイクロOTS被覆した蒸気セルの作製プロセスを紹介し,このプロセスは陽極接合技術に基づいている。調製したウエハレベルマイクロOTS被覆した蒸気セルは水接触角試験により特性化し,微細加工スピン交換緩和フリー(SERF)の原子磁力計で測定した。結果は,OTS被覆は水接触角試験から,陽極ボンディング後の効果的なことを示した。結果はまた,マイクロOTS被覆蒸気セルを用いたスピン交換緩和フリー原子磁力計を成功裡に運転できることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *緩和現象 ,  地球物理学 ,  *被覆 ,  キャラクタリゼーション ,  健康管理 ,  *互換性 ,  微細加工 ,  遠隔監視 ,  *MEMS ,  SQUID ,  分極
準シソーラス用語： スピン交換 ,  水接触角 ,  陽極接合 ,  *原子磁力計 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 磁気の計測法・機器  (AD07060U)

タイトルに関連する用語 (8件)： スケール ,  原子磁力計 ,  MEMS ,  パッケージング ,  緩和 ,  互換性 ,  蒸気 ,  セル