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J-GLOBAL ID:201702283547399224   整理番号:17A0360246

無マスク大気マイクロプラズマジェットエッチングによる炭素ベースのフレキシブルマイクロスーパーキャパシタ作製【Powered by NICT】

Carbon-based flexible micro-supercapacitor fabrication via mask-free ambient micro-plasma-jet etching
著者 (6件):
資料名:
巻: 111  ページ: 121-127  発行年: 2017年 
JST資料番号: H0270B  ISSN: 0008-6223  CODEN: CRBNA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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著者らは,周囲条件下で無マスクマイクロプラズマジェットエッチングによるマイクロパターン化多層カーボンナノチューブ(MWNT)電極を持つ全固体フレキシブルマイクロスーパーキャパシタ(MSC)を作製するための一般的で容易な方法を実証した。局在パルスプラズマジェットは,MWNTをエッチング迅速走査による交差指電極パターンを生成した。無マスクパターン形成法は,費用対効果の高い,容易にスケーラブルな,フォトレジスト汚染がなく,各種炭素系材料への適用が容易である。固体ポリビニルアルコールH_3PO_4ゲル電解質は全固体柔軟なMSC組立を実現するために紹介した。サイクリックボルタンメトリー測定は,期待される電気二重層挙動を示した。十二交差指電極を用いて作製したMSCは10mV S~ 1の走査速度でスタック容量2.02F cm~ 3を示した。さらに,MSCは繰り返し曲げを受ける安定した性能を示し,600回の曲げサイクル後の静電容量の98.2%を保持した。さらに,出力電圧とMSCの全静電容量の両方を直列または並列接続で制御できた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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炭素とその化合物 

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